抛光头测试

检测项目

表面粗糙度检测：采用接触式轮廓仪测量Ra值（0.01-0.8μm范围），评估抛光面微观几何特征

材料硬度测试：洛氏硬度HRC（45-65）与维氏硬度HV（500-1200）双标检测

耐磨性能验证：模拟工况进行3000次循环摩擦测试，质量损耗≤0.05mg/cm²

尺寸精度检测：直径公差±0.005mm，平面度≤0.003mm/25mm

微观结构分析：SEM扫描电镜观察晶粒度（ASTM E112）、孔隙率（≤0.5%）

检测范围

金属材料抛光工具：包括不锈钢、钛合金、硬质合金等切削工具抛光头

陶瓷基抛光元件：氧化铝、碳化硅、氮化硅材质的精密抛光垫

高分子复合材料：聚氨酯、聚酯纤维增强型抛光轮组件

半导体专用工具：硅片、蓝宝石衬底CMP抛光头

光学加工设备：透镜模具用金刚石抛光头（粒度#2000-#30000）

检测方法

三维形貌分析：依据ISO 25178标准，使用白光干涉仪进行非接触式表面测量

硬度梯度测试：按ASTM E384实施显微硬度剖面扫描（载荷0.1-2kgf）

摩擦磨损试验：ASTM G99标准的球盘式摩擦试验机，载荷5N，转速200rpm

热稳定性检测：ISO 11358热重分析法，升温速率10℃/min至600℃

化学兼容性测试：ASTM D543标准浸泡法，检测酸/碱环境下的腐蚀速率

检测设备

Bruker ContourGT-K 3D光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，XYZ轴重复精度±0.5nm

Mitutoyo SJ-410表面粗糙度仪：16nm触针半径，评估长度4mm，5种滤波模式

Zwick Roell ZHU2.5硬度测试系统：全自动压痕测量，符合ISO 6507/Vickers标准

FEI Quanta 650 FEG扫描电镜：1nm分辨率，配备EDS能谱分析模块

CSM Tribometer摩擦磨损试验机：最大载荷50N，温度范围-50~800℃

技术优势

CNAS认可实验室（注册号：详情请咨询工程师），通过ISO/IEC 17025体系认证

配备20年以上经验的技术团队，持有NDT/MT/PT三级认证

建立ASTM/ISO/JIS多标准比对数据库，实现检测结果国际互认

自主研发的DMA-300动态机械分析系统，可检测1-1000Hz频率响应

恒温恒湿洁净实验室（温度23±0.5℃，湿度50±5%RH）

以上是与"抛光头测试"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。