检测项目

层间结合力检测：测量界面结合强度（0.1-200MPa范围），检测剥离角度偏差≤0.5°

厚度均匀性检测：分辨率0.1μm，检测区域≥5mm×5mm，平面度误差≤0.3%

孔隙率定量分析：识别0.5-500μm孔隙，统计密度（0.01%-30%），三维重构精度±0.8%

界面形貌表征：表面粗糙度Ra值（0.01-25μm），晶粒尺寸测量误差≤3%

元素分布检测：能谱分析（Be-U元素），线扫描步长0.2μm，面分布分辨率5nm

检测范围

金属基复合材料：包含钛铝层压板、铜钢复合管等异质结合体

高分子功能薄膜：涵盖锂电池隔膜（8-50μm）、光学级PET膜等

电子封装器件：包括BGA焊点、芯片TSV结构（直径5-100μm）

陶瓷热障涂层：检测YSZ涂层（100-500μm）的柱状晶结构

生物医学植入体：羟基磷灰石涂层（20-200μm）的界面结合状态

检测方法

显微切割法：ASTM E1920规定的离子束抛光工艺，截面倾角控制±1°

共聚焦显微术：ISO 25178标准下的三维形貌重建，Z轴分辨率0.5nm

电子背散射衍射：ASTM E2627晶界取向分析，步长0.1-5μm可调

聚焦离子束成像：ISO 21363规定的30kV Ga+束流，定位精度±50nm

X射线能谱面扫：ISO 22309元素定量标准，检测限0.1wt%

检测设备

蔡司Sigma 500场发射电镜：配备二次电子/背散射双探测器，最大放大倍数1,000,000×

牛津Xplore 30能谱仪：128eV能量分辨率，元素面分布采集速度＞100kcps

莱卡DM2700M金相显微镜：配备12位彩色CCD，支持微分干涉对比（DIC）模式

三丰Surftest SJ-410轮廓仪：曲率半径0.05μm探针，Z轴量程350μm

赛默斐世Helios G4 UX双束系统：具备气体注入系统，支持原位截面制备

技术优势

获得CNAS（注册号：详情请咨询工程师）和CMA（编号：详情请咨询工程师）双重认证

配备ISO/IEC 17025:2017标准的质量控制体系，检测数据可追溯至NIST标准物质

检测设备每年进行ASTM E2919规定的计量校准，不确定度评估符合GUM规范

检测团队持有ASNT III级证书，累计完成2000+工业失效分析案例

支持多尺度关联分析，实现从宏观尺寸（cm级）到微观结构（nm级）的跨尺度检测

　　以上是与剖面图检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。