检测项目

1.束流均匀性分析：测量径向强度分布标准差≤8%，轴向波动幅度≤5%
2.能量密度梯度检测：梯度变化率≤15%/mm（依据IEC62906标准）
3.聚焦特性评估：焦斑椭圆度误差≤3%，发散角偏差≤0.5mrad
4.空间稳定性测试：束斑漂移量≤50μm/30min（GB/T18997-2021）
5.剂量率非线性度：最大偏差≤2.5%（ASTME3076-18）

检测范围

1.金属合金电子束焊接接头（钛合金/镍基高温合金）
2.激光选区熔化成型件（316L不锈钢/Inconel718）
3.离子注入半导体晶圆（硅片/碳化硅衬底）
4.医用加速器治疗头束流系统
5.同步辐射光束线光学元件（单色器/聚焦镜组）

检测方法

1.ASTME3076-18《电子束特性表征标准试验方法》
2.ISO21485:2020《激光加工系统光束参数测量方法》
3.GB/T39271-2020《电子束焊接接头质量检验规范》
4.IEC62906-5-3《激光显示器件光斑特性测试》
5.JJF1833-2020《电子束曝光机校准规范》

检测设备

1.OphirSP928积分球光束分析仪（测量直径0.1-40mm光束）
2.HamamatsuC10910D电子束剖面监测系统（分辨率1μm）
3.ZeissXradia620Versa三维X射线显微镜（4μm体素精度）
4.KeysightN9030B频谱分析仪（26.5GHz带宽）
5.BrukerContourGT-K光学轮廓仪（0.1nm垂直分辨率）
6.ThermoFisherScios2DualBeamFIB-SEM系统
7.OlympusOmniScanX3相控阵超声检测仪
8.NewportMS257单色仪系统（波长精度0.05nm）
9.MalvernPanalyticalMastersizer3000激光粒度仪
10.Agilent4156C精密半导体参数分析仪

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与非对称束检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。