检测项目

片间间距尺寸精度：测量范围0.1-500μm，分辨率±0.01μm

层间均匀性分析：区域偏差值≤0.5%，波动系数≤0.15

材料形变指数：三维形变率检测（轴向/径向/切向）

热膨胀系数检测：温度范围-70℃~300℃，精度±0.1ppm/℃

界面结合强度测试：剪切强度检测，载荷范围0.1-50N，精度±0.5%FS

检测范围

半导体晶圆封装层

锂离子电池极片组

高分子复合薄膜材料

多层印刷电路板（PCB）

光学镀膜器件

检测方法

激光干涉测量法（ASTM F1248-16）：采用相位偏移干涉技术进行纳米级层厚测量

光学显微三维重构（ISO 4591:2022）：通过景深扩展实现微米级三维形貌分析

X射线断层扫描（ASTM D5944-22）：非破坏性检测内部层间结构

热机械分析（TMA）（ISO 11359-2:2021）：测定材料热膨胀系数

微力测试系统（ASTM D1002-10）：精准控制界面剪切强度检测

检测设备

Keyence VK-X3000：激光共聚焦显微镜，具备0.01nm纵向分辨率，支持三维点云建模

Bruker ContourGT-X3：白光干涉仪，最大扫描范围100mm，垂直分辨率0.1nm

Thermo Fisher HeliScan MicroCT：亚微米级X射线断层扫描系统，最小体素尺寸400nm

TA Instruments Q400 TMA：温度控制精度±0.1℃，位移分辨率0.1nm

Instron 5948 MicroTester：双立柱力学测试系统，载荷分辨率0.001N

技术优势

获CNAS（CNAS 详情请咨询工程师5）和CMA（2023000000）双重认证资质

建立符合ISO/IEC 17025:2017的质量管理体系

检测团队含5名ASQ认证质量工程师（CQE）

设备校准溯源至NIST标准，年校准周期≤6个月

自主开发层间结构数字孪生系统，检测效率提升40%

　　以上是与片间距离测试相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。