检测项目

1. 氦泄漏率测试：测量范围1×10⁻⁹~1×10⁻¹² mbar·L/s

2. 气体纯度分析：氦浓度≥99.999%的定量测定

3. 渗透系数测定：材料渗透率≤1×10⁻¹⁰ cm³(STP)·cm/(cm²·s·Pa)

4. 压力循环耐久性：0.1~40MPa压力交变测试

5. 残留气体质谱分析：检出限≤0.1ppm

检测范围

1. 半导体制造设备：晶圆反应腔体/真空传输模块

2. 低温工程系统：超导磁体冷却管路/液氦储罐

3. 航空航天部件：航天器燃料舱/推进器密封件

4. 医疗设备：MRI磁体杜瓦/核医学示踪剂容器

5. 新能源装置：核聚变装置真空室/燃料电池双极板

检测方法

1. ASTM E493-22《质谱仪检漏法标准试验方法》

2. ISO 20485:2017《非破坏性试验-氦泄漏检测》

3. GB/T 34528-2017《气瓶氦泄漏检验方法》

4. ASTM E1603-19《示踪气体法测定建筑围护结构泄漏》

5. GB/T 32291-2015《真空技术氦质谱检漏方法》

检测设备

1. Pfeiffer ASM 340氦质谱检漏仪：灵敏度5×10⁻¹³ mbar·L/s

2. Agilent 490 Micro GC：多通道气相色谱纯度分析系统

3. Leybold PHOENIX L300i：集成式真空压力测试平台

4. INFICON ELT3000：便携式定量泄漏检测仪

5. Edwards STP-4503涡轮分子泵组：极限真空5×10⁻⁸ mbar

6. MKS 925B压力控制器：精度±0.05%FS（0-100bar）

7. Varian CP-4900微型气相色谱仪：ppb级残留气体分析

8. Shimadzu GC-2030ATF：高精度载气纯度分析仪

9. Brooks SLA5850质量流量计：量程0.5~5000sccm

10. Vacuum Technology Inc Model HLD2000：高压氦回收系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与氦循环检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。