检测项目

1.位错密度测量：定量分析单位体积内异号位错数量级（10^4-10^8cm^-2）

2.位错分布形态表征：包括线状位错网络、缠结结构及胞状组织的空间分布

3.伯氏矢量测定：通过衍射衬度法确定b矢量方向偏差（精度0.01nm）

4.位错运动特性分析：临界分切应力测试（0.1-500MPa量程）

5.异号位错相互作用强度：采用HR-EBSD测量局部晶格畸变（角度分辨率0.01）

检测范围

1.金属合金：钛基高温合金涡轮叶片中的α/β相界面位错

2.半导体材料：硅晶圆(111)面滑移位错的亚表面分布

3.陶瓷材料：Al2O3-ZrO2复相陶瓷晶界位错钉扎效应

4.复合材料：碳纤维增强铝基复合材料的界面位错群

5.单晶材料：蓝宝石衬底生长GaN薄膜的穿透位错密度

检测方法

1.ASTME112-13：金相显微镜定量位错密度测定法

2.ISO643:2019：透射电镜(TEM)伯氏矢量标定规程

3.GB/T13298-2015：金属显微组织检验方法

4.ISO24173:2009：电子背散射衍射(EBSD)晶体取向分析

5.GB/T39488-2020：X射线衍射(XRD)位错密度计算规范

检测设备

1.FEITecnaiG2F30场发射透射电镜：300kV加速电压，0.19nm点分辨率

2.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪：CuKα辐射源(λ=0.15406nm)

3.ZeissCrossbeam550聚焦离子束扫描电镜：5nm电子束分辨率

4.OxfordInstrumentsSymmetryEBSD探测器：全菊池带采集速度≥3000pps

5.ShimadzuHMV-G21显微硬度计：载荷范围0.01-2000gf

6.KeysightNanoIndenterG200：连续刚度测量模式(CSM)

7.MalvernPanalyticalEmpyreanX射线衍射仪：高温附件支持1600℃原位测试

8.JEOLJEM-ARM300F原子分辨率电镜：信息极限0.08nm

9.LeicaDM2700M金相显微镜：500万像素CCD图像采集系统

10.Agilent5500原子力显微镜：接触/非接触双模式扫描