可送检的样品类型与对应检测项目
| 样品类型 | 典型应用场景 | 主要检测项目 | 常用方法 / 参考 |
|---|---|---|---|
| 微透镜阵列（石英/熔融石英） | 光束整形、匀光、夏克-哈特曼波前传感、光通信耦合 | 单元间距pitch、单元口径、矢高、曲率半径、面形PV/RMS、焦距、数值孔径、填充因子 | GB/T 2831-2009面形偏差检验；激光干涉仪面形扫描；白光干涉轮廓仪矢高与台阶测量 |
| 复眼透镜阵列 | 投影仪照明匀光、曝光机照明系统、激光匀化 | 阵列平整度、总厚差CTV、单元一致性（焦距离散）、表面粗糙度Ra、透过率及均匀性 | GB/T 1031-2009表面结构评定；分光光度计透过率扫描；影像测量仪阵列几何 |
| 红外阵列镜片（硅/锗/硫系玻璃） | 热成像镜头窗口、红外焦平面探测器窗片、红外照明 | 面形精度、有效焦距、红外波段透过率（3~12μm）、表面疵病、折射率热变化 | GB/T 1185-2006表面疵病分级；FTIR红外光谱透过率；ZYGO红外干涉仪面形 |
| 注塑树脂微透镜阵列（PMMA/PC/COP） | 手机闪光灯、3D结构光投射、车载照明、内窥光学 | 成型收缩与翘曲、透镜单元面形、焦距一致性、双折射、透过率、填充率 | ISO 10110-5:2015面形公差标注；偏光应力仪双折射；影像测量阵列周期 |
| 衍射微透镜阵列/DOE阵列 | 结构光3D传感、激光雷达点阵投射、光计算 | 衍射效率、点阵均匀性、台阶高度、线宽、表面粗糙度、面形平整度 | 白光干涉台阶高度测量；CCD光强分布点阵均匀性；原子力显微镜线宽抽检 |
| LED/车灯准直透镜阵列 | 矩阵式大灯、ADB自适应远光、背光模组 | 单元准直角、光斑均匀性、耐温后焦距漂移、面形偏差、疵病等级 | 分布光度计配光曲线；高低温循环后复测焦距；GB/T 1185疵病评定 |
检测项目
1. 单元间距（pitch）：典型10~500μm，公差控制±0.5~±2μm，决定阵列周期与点阵精度
2. 面形精度：PV值≤0.25λ（λ=632.8nm），RMS≤λ/40~λ/20，高档波前级要求RMS≤λ/100
3. 焦距与数值孔径：焦距0.1~50mm，公差±1~3%；NA 0.05~0.6，单元间焦距离散≤±1%
4. 透过率与均匀性：可见至近红外波段单面镀增透膜后≥95%，阵列口径内均匀性≥95%
5. 表面质量：表面粗糙度Ra≤1.5~10nm（模压件≤10nm，抛光件≤1.5nm）；疵病按划痕/麻点10/5~40/20级评定
检测范围
1. 微透镜阵列：熔融石英阵列、硼硅玻璃阵列、硅阵列等
2. 复眼透镜阵列：平板复眼、曲面复眼、双排复眼组件等
3. 红外镜片阵列：单晶硅、多晶硅、锗、硫系玻璃（如Gasir）等
4. 树脂成型阵列：PMMA、PC、COP（如Zeonex）注塑及UV复制阵列等
5. 衍射与特殊阵列：DOE点阵片、柱镜阵列、自由曲面阵列等
检测方法
1. GB/T 2831-2009 光学零件的面形偏差检验方法（样板法与球面仪法评定面形偏差）
2. GB/T 1185-2006 光学零件表面疵病（划痕、麻点、破边等疵病的分级与判定）
3. GB/T 1031-2009 产品几何技术规范（GPS）表面结构 轮廓法评定表面结构的规则和方法（Ra等参数）
4. GB/T 13323-2009 光学制图（阵列镜片图纸中尺寸、公差、面形符号的标注与解读依据）
5. ISO 10110-5:2015 光学和光子学 光学元件与系统图纸制备 第5部分：面形公差（波前偏差、曲率半径公差标注）
检测设备
1. 激光干涉仪（ZYGO Verifire系列）：面形PV/RMS测量，精度λ/100，口径100~150mm
2. 白光干涉轮廓仪（Bruker ContourGT系列）：垂直分辨率0.01nm，台阶与矢高测量，Ra量程0.01~100μm
3. 影像测量仪（OGP Flash系列）：几何精度（1.5+L/250）μm，测pitch、口径、阵列周期
4. 分光光度计（PerkinElmer Lambda 950）：波长175~3300nm，透过率精度±0.1%
5. FTIR傅里叶红外光谱仪：波段4000~400cm⁻¹，红外阵列镜片3~12μm透过率
6. 工具显微镜（Mitutoyo TM系列）：放大倍率10~100倍，最小读数0.5μm
7. 数显准直仪与焦距仪：焦距测量范围10~1000mm，精度±0.1%
8. CCD光束质量分析仪：像素4.6~7.4μm，测点阵均匀性与光斑分布
9. 偏光应力仪：双折射量程0~100nm/cm，树脂阵列内应力评估
10. 恒温恒湿试验箱：温度-40~150℃，湿度20~98%RH，环境适应性后复测光学参数