检测项目
1.纯度测定：HfCl₄含量≥99.99%（质量分数），Cl含量≤0.005%（XRF法）
2.晶体结构分析：X射线衍射（XRD）验证α-HfCl₄晶型（2θ=15.30.2）
3.杂质元素检测：Al、Fe、Ti等13种金属杂质总量≤50ppm（ICP-MS法）
4.热稳定性测试：TG-DSC联用分析分解温度≥250℃（升温速率10℃/min）
5.粒度分布分析：D50值控制在5-20μm（激光粒度仪Mie散射法）
检测范围
1.高纯铪金属制备用四氯化铪单晶材料
2.CVD/ALD工艺用薄膜沉积原料
3.核反应堆控制棒前驱体化合物
4.光学镀膜用超纯HfCl₄粉末
5.催化剂载体合成用中间体晶体
检测方法
1.XRD物相分析：ASTME975-20《X射线多晶衍射定量分析方法》
2.杂质元素测定：GB/T33087-2016《电感耦合等离子体质谱法通则》
3.氯含量测定：ISO16962:2017《表面化学分析-X射线荧光光谱法》
4.热重分析：GB/T27761-2011《热重分析仪失重和剩余量的测量方法》
5.粒度分布测试：ISO13320:2020《激光衍射法粒度分析通用要求》
检测设备
1.X射线衍射仪（RigakuSmartLab9kW）：物相鉴定与晶型分析
2.电感耦合等离子体质谱仪（ThermoFisheriCAPRQ）：痕量金属杂质定量
3.同步热分析仪（NETZSCHSTA449F5）：TG-DSC联用热稳定性测试
4.X射线荧光光谱仪（BrukerS8TIGER）：主成分与氯含量快速测定
5.激光粒度分析仪（MalvernMastersizer3000）：干湿法粒度分布测量
6.扫描电子显微镜（HitachiSU5000）：晶体形貌与表面缺陷观测
7.离子色谱仪（Metrohm930CompactICFlex）：游离氯离子浓度检测
8.紫外可见分光光度计（ShimadzuUV-2600i）：溶液态吸光度纯度验证