检测项目
凹部深度检测：测量范围0.1-5.0mm，精度±0.02μm
凹部直径检测：检测范围0.5-10.0mm，分辨率1μm
表面形状偏差：圆度误差≤0.05mm，平面度≤0.1mm/m
分布密度检测：单位面积凹部数（5-200个/cm²）
边缘锐度检测：过渡曲率半径0.01-0.5mm
检测范围
金属材料：汽车车身板/航空发动机叶片/精密模具
塑料制品：注塑件/光学镜片/医疗器材
复合材料：碳纤维构件/陶瓷基复合材料
陶瓷材料：电子基板/高温结构件
精密零件：轴承滚道/液压阀体/半导体晶圆
检测方法
激光扫描法：ASTM E1255-16，ISO 25178-2
触针轮廓法：GB/T 10610-2009，ISO 4287
光学显微法：GB/T 15757-2018，ASTM F1819
三维形貌重建：GB/T 33523-2017，ISO 16610
数字图像处理：ISO 14952-3，GB/T 23656-2016
检测设备
Keyence VR-5000三维表面轮廓仪：非接触式扫描，Z轴分辨率0.01μm
Mitutoyo SJ-410表面粗糙度仪：触针半径2μm，测量速度0.5mm/s
Olympus DSX1000数码显微镜：20-7000倍连续变焦，3D拼接功能
Hexagon Absolute Arm 7525SI：激光扫描+接触探头，空间精度±0.025mm
Bruker ContourGT-X8白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，扫描面积10×10mm