检测项目

几何精度检测：

检测范围

1.激光器用熔石英光阑：适用于1064nm/355nm波段高功率激光系统，重点监测热致形变与损伤阈值

2.空间光学镀膜光阑：镁合金基体镀ITO膜层器件，考核真空冷焊效应与原子氧耐受性

3.同步辐射光束线光阑：钼/石墨复合材料制品，需进行X射线反射率及热负载变形测试

4.光纤耦合器陶瓷光阑：Al₂O₃材质微孔阵列结构件，控制孔径一致性（Cpk≥1.33）

5.红外硫系玻璃光阑：Ge₂Sb₂Se₄非球面元件，检测3-12μm波段透射均匀性

6.紫外氟化物晶体光阑：CaF₂/MgF₂基材深紫外元件，评估193nm辐照损伤特性

7.MEMS可调光阑阵列：硅基静电驱动器件，验证驱动电压稳定性（0.5V）与疲劳寿命（≥10⁶次）

8.X射线准直器钨合金光阑：钨铜复合结构件，进行微焦点成像分辨率验证（≤10μm）

9.太赫兹波导金属光阑：铜镀金表面处理件，测试0.1-10THz频段反射率≥98%

10.生物显微可变光阑组件：不锈钢精密冲压件组配系统，校验12级孔径切换重复定位精度（0.005mm）

检测方法

国际标准：

检测设备

1.激光干涉仪：ZygoVerifireMST+（波长632.8nm,PV分辨率0.1nm）

2.白光轮廓仪：BrukerContourGT-K1（垂直分辨率0.01nm,横向扫描速度500μm/s）

Spectra-PhysicsQuanta-RayPro激光源（1064nm/532nm/355nm三波长输出,脉冲能量0-10J可调）

RigakuSmartLabSE（Cu靶Kα射线,角度重复性0.0001）

BrukerDimensionIcon（ScanAsyst模式,最大扫描范围90μm90μm）

ESPECTSE-11-A（温控范围-70℃~+350℃,真空度≤510⁻Pa）

HexagonGlobalS7.10.7（空间精度0.6+L/400μm,测头重复性0.2μm）

TeraViewTPSSpectra3000（频谱范围0.06-4THz,动态范围＞60dB）