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后光阑检测

  • 原创官网
  • 2025-05-29 16:15:51
  • 关键字:北检研究院,后光阑检测

相关:

概述:后光阑检测是光学元件质量控制的核心环节,重点评估光阑面形精度、透射波前畸变、表面粗糙度及环境耐受性等关键指标。本文系统阐述孔径公差(±0.002mm)、镀膜损伤阈值(≥5J/cm²)等12项核心参数的技术规范,覆盖激光器用熔石英光阑至空间光学镀膜器件等10类产品的专项检测方案。

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注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

☌ 询价

检测项目

几何精度检测:

  • 孔径尺寸公差:通光孔径偏差(0.002mm),边缘倒角角度(301)
  • 面形精度:PV值≤λ/10@632.8nm,RMS≤λ/50
  • 平行度误差:双面平行度≤3″(采用激光干涉法测量)
  • 光学性能检测:
  • 透射波前畸变:Zygo干涉仪测量ΔW≤0.05λ(λ=632.8nm)
  • 表面散射率:TIS≤510⁻⁴(依据ISO13696:2002)
  • 镀膜损伤阈值:LIDT≥5J/cm(1064nm,10ns脉冲激光)
  • 表面特性检测:
  • 粗糙度参数:Ra≤0.5nm(原子力显微镜100μm100μm扫描)
  • 划痕缺陷:MIL-PRF-13830B标准20/10级判定
  • 清洁度等级:颗粒污染物≤Class5(ISO14644-1)
  • 环境可靠性检测:
  • 热变形测试:-50℃~+300℃循环后孔径变化量≤0.003mm
  • 真空放气率:TML≤0.1%,CVCM≤0.01%(ASTME595-07)
  • 耐腐蚀性评估:盐雾试验48h无可见腐蚀点(GB/T10125-2021)
  • 检测范围

    1.激光器用熔石英光阑:适用于1064nm/355nm波段高功率激光系统,重点监测热致形变与损伤阈值

    2.空间光学镀膜光阑:镁合金基体镀ITO膜层器件,考核真空冷焊效应与原子氧耐受性

    3.同步辐射光束线光阑:钼/石墨复合材料制品,需进行X射线反射率及热负载变形测试

    4.光纤耦合器陶瓷光阑:Al₂O₃材质微孔阵列结构件,控制孔径一致性(Cpk≥1.33)

    5.红外硫系玻璃光阑:Ge₂Sb₂Se₄非球面元件,检测3-12μm波段透射均匀性

    6.紫外氟化物晶体光阑:CaF₂/MgF₂基材深紫外元件,评估193nm辐照损伤特性

    7.MEMS可调光阑阵列:硅基静电驱动器件,验证驱动电压稳定性(0.5V)与疲劳寿命(≥10⁶次)

    8.X射线准直器钨合金光阑:钨铜复合结构件,进行微焦点成像分辨率验证(≤10μm)

    9.太赫兹波导金属光阑:铜镀金表面处理件,测试0.1-10THz频段反射率≥98%

    10.生物显微可变光阑组件:不锈钢精密冲压件组配系统,校验12级孔径切换重复定位精度(0.005mm)

    检测方法

    国际标准:

  • ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定方法
  • ASTMF312-08(2020)薄膜激光损伤阈值测试规程
  • ISO14997:2012光学表面散射特性测量方法
  • 国家标准:
  • GB/T1185-2006光学零件表面疵病检验方法(等效MIL-STD-1907)
  • GB/T26189-2010光学表面粗糙度测量原子力显微镜法
  • GB/T34879-2017精密机械零件几何量测量方法(包含三坐标测量规范)
  • *方法差异说明:ISO与GB在散射率测量中分别采用积分球法与角度分辨法;ASTM与国标对激光损伤测试的脉冲宽度定义存在20%容差。

    检测设备

    1.激光干涉仪:ZygoVerifireMST+(波长632.8nm,PV分辨率0.1nm)

    2.白光轮廓仪:BrukerContourGT-K1(垂直分辨率0.01nm,横向扫描速度500μm/s)

    Spectra-PhysicsQuanta-RayPro激光源(1064nm/532nm/355nm三波长输出,脉冲能量0-10J可调)

    RigakuSmartLabSE(Cu靶Kα射线,角度重复性0.0001)

    BrukerDimensionIcon(ScanAsyst模式,最大扫描范围90μm90μm)

    ESPECTSE-11-A(温控范围-70℃~+350℃,真空度≤510⁻Pa)

    HexagonGlobalS7.10.7(空间精度0.6+L/400μm,测头重复性0.2μm)

    TeraViewTPSSpectra3000(频谱范围0.06-4THz,动态范围>60dB)

    北检(北京)检测技术研究院【简称:北检院】

    报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

    检测周期:7~15工作日,可加急。

    资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

    标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

    非标测试:支持定制化试验方案。

    售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

    以上是与"后光阑检测"相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。

      材料检测服务

      专业分析各类金属、非金属材料的成分、结构与性能,提供全面检测报告和解决方案。包括金属材料力学性能测试、高分子材料老化试验、复合材料界面分析等。

      化工产品分析

      精准检测各类化工产品的成分、纯度及物理化学性质,确保产品质量符合国家标准。服务涵盖有机溶剂分析、催化剂表征、高分子材料分子量测定等。

      环境检测服务

      提供土壤、水质、气体等环境检测服务,助力环境保护与污染治理,共建绿色家园。包括VOCs检测、重金属污染分析、水质生物毒性测试等。

      科研检测认证

      凭借专业团队和先进设备,致力于为企业研发、质量控制及市场准入提供精准可靠的技术支撑,助力品质提升与合规发展。