检测项目
1.重金属元素（Pb/Cd/Hg/As）定量分析：检出限≤0.05μg/L
2.贵金属元素（Au/Ag/Pt/Pd）痕量测定：线性范围0.1-500μg/kg
3.稀土元素（La/Ce/Nd/Y）总量及分馏模式：RSD＜3%
4.半导体材料掺杂元素（B/P/Sb）浓度梯度：精度0.02μg/cm
5.有机金属化合物形态分析（如甲基汞/乙基铅）：分离度＞1.5
检测范围
1.金属合金材料：钛基/镍基高温合金、铝合金镀层
2.半导体晶圆：硅片/砷化镓/氮化镓外延层
3.环境样品：土壤浸出液、大气颗粒物（PM2.5）
4.生物医药制品：疫苗辅料、植入器械表面涂层
5.电子元器件：焊料合金、磁性材料（NdFeB/SmCo）
检测方法
1.ASTMD1976-20电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）水质分析标准
2.ISO17294-2:2016水样中62种元素ICP-MS测定规程
3.GB/T20127.7-2020钢铁及合金痕量元素测定-辉光放电质谱法
4.EPA6020B固体废弃物金属元素SW-846标准方法
5.GB/T33042-2016表面化学分析-俄歇电子能谱法定量通则
检测设备
1.ThermoFisheriCAPRQICP-MS：质量数范围3-290amu，检出限0.1ng/L
2.Agilent8900TripleQuadrupoleICP-MS/MS：干扰消除模式（MS/MS）
3.PerkinElmerNexION350D：四极杆离子偏转系统（QID）
4.BrukerAuroraM90GD-MS：辉光放电质谱仪，深度分辨率5nm
5.ShimadzuICPE-9820：双向观测等离子体源（径向/轴向切换）
6.HitachiEA1400X射线荧光光谱仪：多毛细管光学系统（μ-XRF）
7.JEOLJAMP-9500F俄歇电子能谱仪：空间分辨率≤8nm
8.NuInstrumentsSapphire激光剥蚀系统：193nm准分子激光器
9.Metrohm859IC系统：离子色谱联用接口（ICP-MS/IC）
10.MilestoneUltraWAVE微波消解仪：40位高通量样品处理系统