检测项目
1.光学仪器视轴与机械基准轴偏差量(允许范围:0.002mm)
2.激光发射器光轴与安装基面垂直度(精度要求:≤3″)
3.望远镜物镜与目镜同轴度误差(公差等级:IT5级)
4.工业相机CMOS靶面与法兰定位面平行度(允许偏差:0.01mm/m)
5.光电测距仪发射/接收光轴夹角(标准值:0.1mrad)
检测范围
1.军用光学瞄准系统:包含狙击镜、火控系统等复杂光机组件
2.工业测量仪器:全站仪、激光跟踪仪等精密测绘设备
3.医疗内窥镜系统:硬管内镜光学通道与器械通道同轴度
4.半导体光刻机物镜组:多层镜片组与机械定位基准匹配度
5.航空航天惯导系统:陀螺仪光路与安装基体几何基准一致性
检测方法
ASTME2175-18光学系统视准差测量标准方法(双五棱镜法)
ISO10109-7:2019光学系统环境试验中的视轴稳定性测试规范
GB/T10988-2021光学经纬仪视准轴误差测定方法
GB/T33230-2016激光测距仪光轴平行度测试规程
MIL-STD-150A军用光学仪器视准差验收标准(双星点法)
检测设备
1.LeicaTM6100A电子经纬仪(角度分辨率0.1″,测距精度(0.6mm+1ppm))
2.TriopticsOptiCentric双光路准直仪(测量范围Φ200mm,精度0.5μm)
3.RenishawXL-80激光干涉仪(线性测量分辨率1nm,角度精度0.1″)
4.MitutoyoCrysta-ApexC7106三坐标测量机(空间精度1.8+L/300μm)
5.Keysight5530动态校准仪(动态角度测量范围15,频率响应200Hz)
6.ZygoVerifireMST干涉仪(波前测量精度λ/1000@632.8nm)
7.HamarLaserA-1519多光束校准系统(同时测量5轴偏差,精度0.001mm/m)
8.OGPSmartScopeFlash500多传感器测量系统(光学+接触式复合测量)
9.NikonNEXIVVMZ-S656T视频测量显微镜(放大倍率3500X,重复精度0.3μm)
10.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂(空间精度0.015mm,带激光扫描模块)