比耶对切透镜检测

检测项目

1.表面粗糙度：Ra≤0.01μm（有效孔径内90%区域），局部高点≤0.02μm

2.中心厚度偏差：标称值0.02mm（Φ50mm以下），0.03mm（Φ50-100mm）

3.曲率半径误差：0.05mm（R≤200mm），0.1%（R＞200mm）

4.面形精度：PV值≤λ/4@632.8nm（λ=1/10RMS）

5.楔角偏差：≤3arcmin（通光口径80%区域）

检测范围

1.光学玻璃透镜：H-K9L、ZF7、LaK9等牌号材料制品

2.晶体材料透镜：CaF₂、ZnSe、Ge等红外光学元件

3.树脂复合透镜：CR-39、PC材质模压非球面镜片

4.镀膜元件：AR增透膜（R＜0.5%@400-700nm）、分光膜

5.微结构透镜：衍射光学元件（DOE）、菲涅尔透镜

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷检验（划痕/麻点分级）

2.GB/T2831-2009光学零件面形偏差干涉测量法

3.ASTME903-12光谱透射比标准测试方法

4.ISO14997:2011光学表面激光散射法粗糙度测量

5.GB/T12085.4-2010光学系统环境试验方法（温度循环）

检测设备

1.ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，PV分辨率λ/1000

2.MitutoyoSURFTESTSJ-410轮廓仪：触针半径2μm，Z轴分辨率0.8nm

3.TriopticsOptiCentric双光路中心仪：测量精度0.5μm@Φ100mm

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm@20X物镜

5.ShimadzuAIM-9000红外显微镜：光谱范围0.8-25μm，空间分辨率5μm

6.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：XY分辨率120nm@405nm激光

7.AgilentCary7000紫外可见分光光度计：波长范围190-3300nm

8.TaylorHobsonPGIDimension轮廓仪：最大行程200mm200mm100mm

9.OptoTechASM系列定心车床：主轴跳动≤1μm@3000rpm

10.JenoptikO-Inspect多传感器测量机：复合式影像+接触式测量系统