检测项目

1.曲率半径偏差：0.1μm至5μm
2.表面粗糙度：Ra0.8nm-50nm
3.面形精度（PV值）：λ/20-λ/2（λ=632.8nm）
4.局部斜率误差：≤0.1arcsec/mm
5.球度偏差：0.05-5μmTIR
6.折射率均匀性：Δn≤110⁻⁶
7.中心厚度公差：0.5-50μm
8.光圈数（N）：0.1-10个干涉环
9.非球面系数偏离量：Δk≤110⁻⁴
10.边缘塌边量：0-20μm

检测范围

1.光学透镜（直径Φ2mm-Φ500mm）
2.精密轴承滚珠（G5-G100级）
3.微球透镜（Φ0.1mm-Φ5mm）
4.激光谐振腔反射镜
5.红外光学窗口片
6.光纤连接器端面
7.MEMS微镜阵列
8.半球形金属密封件
9.医用内窥镜物镜组
10.空间望远镜主镜组件

检测方法

ASTME1164-12(2020)光学元件面形测试规程
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定
GB/T2831-2009光学零件面形偏差检验方法
ISO12180-2:2011圆柱度与球度测量规范
GB/T7234-2004圆度测量术语及定义
ISO/TR14999-3:2015光学干涉测量不确定度评估
GB/T19863-2005体视显微镜检验方法
ASTMF1094-87(2017)球形表面几何特性表征

检测设备

1.ZYGOVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm,PV分辨率λ/1000
2.TaylorHobsonPGIOptics轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
3.HexagonGlobalS07.10.07三坐标测量机：空间精度0.6+L/400μm
4.MitutoyoRA-1200M圆度仪：径向分辨率0.001μm
5.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：横向分辨率0.45μm
6.TriopticsOptiCentric双光路中心仪：偏心测量精度1μm
7.OlympusOLS5000激光共聚焦显微镜：Z轴重复性3nm
8.PanasonicUA3P超高精度三维测头：探测力0.05mN0.01mN