检测项目
激光损伤阈值：波长532-1064nm，单脉冲能量0.1-50J/cm²
透过率均匀性：400-1100nm波段，偏差≤±0.5%
波前畸变：PV值≤λ/4（λ=632.8nm）
表面粗糙度：Ra≤0.5nm（测量面积1×1mm²）
抗反射膜层附着力：划痕测试临界载荷≥20N
检测范围
光学玻璃：熔融石英、BK7、SF11等
晶体材料：Nd:YAG、KTP、BBO非线性晶体
薄膜涂层：多层介质膜、金属反射膜、AR/HR膜系
复合材料：金刚石窗口片、蓝宝石衬底
聚合物材料：PMMA、PC光学树脂
检测方法
| 检测项目 | 国际标准 | 国家标准 |
|---|---|---|
| 激光损伤阈值 | ISO 21254-1:2011 | GB/T 13739-2011 |
| 透过率测试 | ASTM E903-12 | GB/T 14147-2009 |
| 波前畸变分析 | ISO 10110-5:2015 | GB/T 2831-2009 |
| 表面粗糙度检测 | ISO 4287:1997 | GB/T 3505-2009 |
| 膜层附着力测试 | ASTM C1624-05 | GB/T 5210-2006 |
检测设备
Zygo Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/100
Coherent PM10V1激光功率计：量程10nW-10W，不确定度±0.8%
Bruker ContourGT-X3轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
Shimadzu UV-3600分光光度计：波段185-3300nm
CSM Revetest划痕仪：最大载荷50N，位移分辨率0.1μm