光圆检测

检测项目

直径偏差检测：公差范围±0.01mm至±0.5mm，依据产品等级划分

圆度误差检测：允许偏差≤0.005mm（高精度等级）

表面粗糙度检测：参数Ra≤0.8μm（精密级）、Ra≤3.2μm（普通级）

材料硬度检测：洛氏硬度HRC 20-60，维氏硬度HV 100-900

抗拉强度检测：覆盖50MPa-2000MPa范围，适用于不同材料类型

检测范围

金属材料：不锈钢、铝合金、钛合金光圆棒材

非金属材料：陶瓷、工程塑料、复合材料圆盘

机械零件：轴承滚子、轴类零件、齿轮坯件

精密仪器部件：光学透镜基座、半导体晶圆载具

特殊用途产品：医疗器械植入物、航空航天紧固件

检测方法

直径检测：GB/T 239-2012《金属材料线材反复弯曲试验方法》结合激光测径仪校准

圆度误差评定：ISO 1101:2017《几何公差 形状、方向、位置和跳动公差》

表面粗糙度测量：ISO 4287:1997《表面粗糙度 术语、参数及定义》

硬度测试：ASTM E18-22《金属材料洛氏硬度标准试验方法》

抗拉强度测试：GB/T 228.1-2021《金属材料 拉伸试验 第1部分：室温试验方法》

检测设备

三坐标测量机：Mitutoyo CMM Crysta-Apex S系列，测量精度±0.5μm

圆度测量仪：Taylor Hobson Talyrond 585，径向分辨率0.001μm

表面粗糙度仪：Taylor Hobson Surtronic S-100 Series，Ra检测范围0.05-10μm

万能材料试验机：Instron 5985，载荷范围500N-300kN，符合ASTM E4标准

激光扫描测径系统：KEYENCE LS-9000，实时直径监测精度±0.2μm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"光圆检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。