半导体洁净室粒子过滤效率检测检测

检测项目

过滤效率测试：

• HEPA过滤器效率：过滤效率≥99.97%for0.3μmparticles(参照ISO14644-3)
• JianCePA过滤器效率：过滤效率≥99.9995%for0.12μmparticles(参照IEST-RP-CC001)
• 初始效率衰减：效率衰减率≤5%after1000hoperation

粒子计数检测：

• 粒子浓度：粒子数≤1000counts/m³forClass5(参照ISO14644-1)
• 粒子尺寸分布：0.1-5μm范围粒子占比分析
• 背景粒子干扰：本底噪声≤10counts/m³

风速测试：

• 平均风速：0.45m/s±20%tolerance
• 风速均匀性：偏差≤±15%acrosssurface
• 湍流强度：湍流系数≤0.25

泄漏测试：

• 过滤器泄漏率：泄漏率≤0.01%atMPPS
• 密封完整性：气密性压力差≥50Pahold
• 边框扫描泄漏：最大允许泄漏点≤3points

气流分布测试：

• 气流方向一致性：单向流角度偏差≤5°
• 回流区检测：回流面积≤5%totalarea
• 气流速度梯度：梯度变化≤10%permeter

温湿度控制测试：

• 温度稳定性：±1°Cvariationover24h
• 湿度稳定性：±5%RHvariationover24h
• 温湿度交互影响：变化率≤0.5%per°C

噪音测试：

• 声压级：≤65dB(A)at1mdistance
• 频谱分析：峰值频率偏移≤10Hz
• 背景噪音补偿：校准误差±0.5dB

过滤器完整性测试：

• 扫描测试：缺陷点≤10pointsperm²
• 压降监测：初始压降≤250Pa
• 纤维脱落率：脱落粒子≤100counts/m³

压降测试：

• 初始压降：≤300PaforJianCePAfilters
• 终阻力：阻力增加≤50%overlifetime
• 流量-压降曲线：线性拟合R²≥0.98

化学污染物检测：

• VOC浓度：总VOC≤100ppb
• AMC检测：酸碱性气体≤1μg/m³
• 微粒吸附率：吸附效率≥90%fororganics

检测范围

1.HEPA过滤器：适用于Class5-8洁净室，检测重点为过滤效率和泄漏率，确保粒子去除率达标

2.JianCePA过滤器：用于Class1-4高洁净环境，侧重0.1μm粒子过滤效率和完整性扫描

3.洁净室墙面材料：包括彩钢板和环氧涂层，检测表面粒子沉降率和防静电性能

4.天花板系统：FFU集成天花板，重点检测气流分布均匀性和噪音水平

5.地板材料：高架地板和抗静电PVC，检测粒子产生率和电阻值≤10^6Ω

6.空气处理单元：AHU和MAU系统，检测整体过滤效率和温湿度控制稳定性

7.风机过滤器单元：FFU模块，关注风速一致性和压降特性

8.传递窗：物料传递设备，检测粒子隔离效率和气闸密封性

9.人员防护装备：洁净服和手套，检测粒子渗透率和纤维脱落

10.工具和设备：半导体制造工具，检测运行中粒子产生率和化学排放

检测方法

国际标准：

• ISO14644-3:2019洁净室及相关受控环境粒子检测方法
• ISO29463-1:2017HEPA/JianCePA过滤器测试标准
• IEST-RP-CC034.1过滤器泄漏测试推荐规程
• ISO14698-1:2003生物污染控制标准

国家标准：

• GB/T25915.3-2021洁净室及相关受控环境粒子浓度检测
• GB/T16292-2010医药工业洁净室悬浮粒子测试方法
• GB/T18801-2015空气净化器性能测试
• GB/T18204.1-2013公共场所风速测定方法

方法差异说明：国际标准ISO14644使用离散粒子计数器法，而国家标准GB/T25915采用连续监测协议；泄漏测试中，ISO要求扫描速度0.05m/s，GB/T指定0.1m/s；粒子尺寸分类ISO以0.1μm起始，GB/T扩展至0.3μm基础检测

检测设备

1.激光粒子计数器：TSI9306-V3型（检测范围0.1-10μm，精度±5%）

2.风速计：Testo425型（量程0-20m/s，分辨率0.01m/s）

3.压差计：Dwyer477AV型（量程0-500Pa，精度±0.5%）

4.泄漏测试仪：ATIQ100型（扫描速度0.05m/s，灵敏度0.01%）

5.气流可视化设备：DantecDynamics系统（烟雾发生速率0.5L/min）

6.温湿度记录仪：RotronicHC2A-S型（温度范围-40-85°C，湿度范围0-100%RH）

7.声级计：Bruel&Kjaer2250型（范围30-130dB，加权A计权）

8.过滤器测试台：PALASMFP3000型（流量范围10-5000m³/h）

9.VOC检测器：PIDppbRAE3000型（检测限1ppb，范围0-10000ppb）

10.AMC分析仪：IonScienceTiger型（特异性检测酸/碱气体）

11.电阻测试仪：TrekModel152-1型（量程10^3-10^12Ω）

12.粒子发生器：TSI8026型（输出浓度10^6-10^9particles/m³）

13.数据采集系统：NationalInstrumentscDAQ-9188型（采样率100kHz）

14.光谱分析仪：Agilent4300型（波长范围190-1100nm）

15.气溶胶光度计：ATITDA-5H型（灵敏度0.0001μg/m³）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"半导体洁净室粒子过滤效率检测检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。