检测项目

元素成分分析（检测参数：元素种类≥15种，含量范围0.01ppm-99.99wt%）

晶相结构表征（检测参数：晶粒尺寸0.1-500μm，相组成偏差≤0.5%）

密度测试（检测参数：理论密度±0.5g/cm³，相对密度≥98%）

表面粗糙度检测（检测参数：Ra≤0.8μm，Rz≤6.3μm）

热膨胀系数测定（检测参数：20-800℃范围CTE≤8×10⁻⁶/K）

检测范围

金属基复合靶材（铜/铝基合金体系）

陶瓷复合靶材（Al₂O₃-TiB₂体系）

高分子复合靶材（PTFE-金属粉末体系）

涂层复合靶材（CrN/TiAlN多层体系）

半导体复合靶材（ITO-Ag-ITO三明治结构）

检测方法

GB/T 223.5-2008 钢铁及合金化学分析方法

ASTM E112-13 晶粒度测定标准

ISO 3369:2021 致密烧结金属材料密度测定

GB/T 3505-2009 产品几何技术规范表面结构轮廓法

GB/T 4339-2008 金属材料热膨胀特征测定方法

检测设备

Thermo Scientific ARL QUANT'X X射线荧光光谱仪（元素分析精度±0.01%）

Zeiss Sigma 300场发射扫描电镜（分辨率0.8nm@15kV）

Micromeritics AccuPyc II 1340全自动密度仪（测量精度±0.03%）

Bruker ContourGT-K光学轮廓仪（垂直分辨率0.1nm）

Netzsch DIL 402 Expedis Classic热膨胀仪（温度精度±0.1℃）