检测项目
元素成分分析（检测参数：元素种类≥15种，含量范围0.01ppm-99.99wt%）
晶相结构表征（检测参数：晶粒尺寸0.1-500μm，相组成偏差≤0.5%）
密度测试（检测参数：理论密度±0.5g/cm³，相对密度≥98%）
表面粗糙度检测（检测参数：Ra≤0.8μm，Rz≤6.3μm）
热膨胀系数测定（检测参数：20-800℃范围CTE≤8×10⁻⁶/K）
检测范围
金属基复合靶材（铜/铝基合金体系）
陶瓷复合靶材（Al₂O₃-TiB₂体系）
高分子复合靶材（PTFE-金属粉末体系）
涂层复合靶材（CrN/TiAlN多层体系）
半导体复合靶材（ITO-Ag-ITO三明治结构）
检测方法
GB/T 223.5-2008 钢铁及合金化学分析方法
ASTM E112-13 晶粒度测定标准
ISO 3369:2021 致密烧结金属材料密度测定
GB/T 3505-2009 产品几何技术规范表面结构轮廓法
GB/T 4339-2008 金属材料热膨胀特征测定方法
检测设备
Thermo Scientific ARL QUANT'X X射线荧光光谱仪（元素分析精度±0.01%）
Zeiss Sigma 300场发射扫描电镜（分辨率0.8nm@15kV）
Micromeritics AccuPyc II 1340全自动密度仪（测量精度±0.03%）
Bruker ContourGT-K光学轮廓仪（垂直分辨率0.1nm）
Netzsch DIL 402 Expedis Classic热膨胀仪（温度精度±0.1℃）