检测项目
表面粗糙度：Ra≤0.01μm，Rz≤0.05μm（白光干涉仪测量）
反射率：波长400-700nm范围内≥95%（分光光度计检测）
波纹度：空间波长0.1-10mm，幅值≤20nm（激光干涉仪分析）
划痕检测：长度≥0.1mm，宽度≤1μm（自动光学检测系统）
颗粒污染：粒径≥0.3μm颗粒密度≤5个/cm²（激光粒子计数器）
检测范围
金属镜面：不锈钢装饰板、铝反射镜基材
光学玻璃：相机镜头、激光谐振腔镜片
半导体晶圆：12英寸硅片、GaAs衬底
精密模具：注塑模具型腔、压铸模仁
功能镀膜：ITO导电玻璃、磁控溅射反射膜
检测方法
ASTM E430-17：标准反射率测定方法
ISO 25178-2:2022：非接触式表面形貌测量
GB/T 13891-2022：建筑玻璃镜面光泽度测定
ISO 14644-1:2015：洁净室颗粒污染等级评定
GB/T 1031-2009：表面粗糙度参数及其数值
检测设备
Taylor Hobson PGI 1240：三维表面轮廓仪，分辨率0.1nm
Bruker ContourGT-X3：白光干涉显微镜，视场20x20mm
PerkinElmer Lambda 1050：双光束分光光度计，波长范围175-3300nm
Mitutoyo SJ-410：接触式表面粗糙度仪，评估长度12.5mm
Particle Measuring Systems LS100：激光粒子计数器，0.1μm灵敏度