检测项目

最大抽气量测定：0.1-1000 m³/h（标准状态）

极限压力测试：1×10⁻⁴ Pa至标准大气压范围

抽气速率曲线测绘：在10⁻³~10⁵ Pa压力区间建立Q-P特性曲线

泄漏率验证：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦质谱法）

功率消耗检测：0.5-500 kW电机输入功率监测

检测范围

旋片真空泵、螺杆真空泵等机械真空设备

高真空密封容器及管道系统

医疗负压吸引装置

半导体工艺真空腔体

航空航天环境模拟舱

检测方法

ISO 21360:2012《真空技术-容积真空泵性能测量》

ASTM E2971-16《真空系统泄漏率测试标准方法》

GB/T 19956.1-2022《真空技术 容积真空泵性能测量 第1部分：体积流率测量》

GB/T 3163-2020《真空技术 术语》规范测试流程

ISO 3567:2011《真空泵 噪声测量》声学评估方法

检测设备

INFICON LDS3000氦质谱检漏仪：最小可检漏率5×10⁻¹² Pa·m³/s

Agilent 5995B四极杆质谱仪：质量范围1-300 amu，分辨率0.5 amu

Leybold CTR91复合真空计：测量范围1×10⁻⁸~1×10³ Pa

MKS 937B气体质量流量计：精度±1%读数，量程0.5-5000 sccm

National Instruments PXIe-4143功率分析仪：采样率1.8 MS/s，精度±0.03%