检测项目

泄漏率检测：≤1×10⁻⁴ mbar·L/s（氦气）

耐压强度测试：≥1.5倍工作压力（0.1~10 bar）

材料厚度测量：公差±0.1 mm（金属/非金属）

真空度维持能力：30分钟内压力上升≤5%初始值

焊缝/连接处气密性：局部泄漏率≤5×10⁻⁵ mbar·L/s

检测范围

金属管路：不锈钢（304/316L）、铝合金（6061/5052）

聚合物管路：PVC-U、PTFE、PVDF

橡胶密封件：丁腈橡胶（NBR）、氟橡胶（FKM）

法兰连接组件：DN25~DN300标准法兰

真空阀门：蝶阀、球阀（通径15~200 mm）

检测方法

ASTM E493-22：静态升压法测定泄漏率

ISO 1608-1:2020：真空泵性能测试关联管路评估

GB/T 13979-2021：质谱检漏仪法检测气体泄漏

GB/T 17773-2019：真空系统管路压力循环试验

ISO 10648-2:1994：密封容器检漏的氦背压法

检测设备

氦质谱检漏仪（HLT560）：检测灵敏度1×10⁻¹² mbar·L/s

数字压力校验仪（DPI620）：量程-1~25 bar，精度±0.05%FS

超声波测厚仪（DM5E）：分辨率0.01 mm，频率5 MHz

真空计（PKR251）：量程10⁻⁴~1100 mbar，热阴极电离原理

红外热像仪（FLIR T540）：温度分辨率≤0.03℃（泄漏点定位）