检测项目

峰高测量精度：分辨率≤0.1μm，量程范围±500μm

轮廓重复性误差：最大允许偏差±0.5μm（三次测量均值）

表面粗糙度关联参数：Ra≤0.05μm，Rz≤0.3μm

温度漂移系数：≤0.02μm/℃（20-30℃环境）

动态采样频率：≥100kHz（移动速度1m/s）

检测范围

金属材料：铝合金轧制件、钛合金切削件、不锈钢冲压件

非金属材料：工程塑料注塑件、陶瓷烧结件

复合材料：碳纤维层压板、金属基复合涂层

精密元件：轴承滚道、齿轮齿面、密封环端面

光学器件：透镜曲面、棱镜抛光面、光栅刻线

检测方法

接触式测量：ASTM E3标准（探针半径2μm，载荷0.75mN）

激光干涉法：ISO 25178-602（波长632.8nm，采样间距0.5μm）

白光共聚焦：GB/T 10610-2009（纵向分辨率10nm）

原子力显微术：ISO 11039（扫描范围100×100μm²）

数字图像处理：GB/T 33523-2017（像素尺寸≤0.2μm）

检测设备

Mitutoyo LSM-9000激光扫描仪：配备HS-C4探头，Z轴线性误差±(0.2+0.5L/100)μm

Olympus DSX1000数码显微镜：20-7000倍光学变焦，3D重建精度0.01μm

Taylor Hobson Form Talysurf i系列：符合ISO 4288标准，曲率半径补偿算法v3.2

Bruker ContourGT-X3光学轮廓仪：1200万像素CMOS，垂直扫描速度150μm/s

Zeiss Surfcom Flex 3A：支持DIN 4768标准，自动温度补偿模块TCM-40