检测项目
流量特性检测：工作流量范围0.5-15m³/h，最大流量偏差≤±2.5%
真空度保持检测：极限真空度≤3kPa，30分钟压力回升量≤0.8kPa
密封性能检测：氦检漏率≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s
材料耐蚀性检测：5%NaCl溶液浸泡240h，质量损失率≤0.15mg/cm²
压力波动试验：0.2-1.6MPa交变压力，10000次循环无泄漏
检测范围
316L奥氏体不锈钢主体结构件
铝青铜合金喷嘴组件
PTFE基高分子密封材料
碳化硅陶瓷基复合扩散段
球墨铸铁法兰连接件
检测方法
ASTM D3965-2022 流体传输系统容积式流量计校准规范
ISO 5197:2020 真空技术-喷射器性能测试方法
GB/T 13927-2018 工业阀门压力试验
ISO 9227:2022 人造大气腐蚀试验-盐雾试验
GB/T 26111-2010 真空技术术语及图形符号
检测设备
SIEMENS SITRANS FUE950电磁流量计：精度±0.5%FS，量程0-20m³/h
LEYBOLD COOLVAC 600真空测试系统：极限真空0.1Pa，配备TRIVAC D65B机械泵
INFICON UL3000氦质谱检漏仪：灵敏度5×10⁻¹³ mbar·L/s
INSTRON 6800万能材料试验机：载荷范围±100kN，应变分辨率0.003%
HILTECH HT-6000水压试验台：压力范围0-25MPa，控制精度±0.2%FS