检测项目
表面粗糙度:Ra≤0.01μm(局部区域允许Ra≤0.02μm)
气泡与杂质:直径≤0.05mm(每25mm²不超过3个)
曲率半径误差:±0.1%(焦距>50mm时放宽至±0.2%)
中心厚度偏差:±0.02mm(直径≤30mm),±0.05mm(直径>30mm)
镀膜层缺陷:划痕宽度≤0.01mm(每100mm²累计长度≤5mm)
检测范围
光学玻璃透镜(BK7, H-K9L等)
树脂镜片(CR-39, MR系列)
石英玻璃透镜(紫外级JGS1/JGS3)
红外材料透镜(锗晶体、硒化锌)
聚合物透镜(PMMA, PC材质)
检测方法
表面粗糙度:ISO 10110-8非接触式干涉测量法
气泡与杂质:GB/T 7661-2009暗场显微观测法
曲率半径:ASTM F1048-2017自准直仪测量法
中心厚度:GB/T 2831-2009激光位移传感器法
镀膜缺陷:ISO 9211-4偏振光显微检测法
检测设备
Zygo NewView 9000非接触式三维表面轮廓仪(分辨率0.1nm)
Olympus MX63暗场显微镜(最大放大倍率1500×)
Trioptics OptiCentric®双光路曲率测量系统(精度±0.005%)
Keyence LK-G5000激光位移计(采样频率392kHz)
Mitutoyo CV-3100光学投影仪(测量范围Φ310mm)