测量真空度检测_北检院_第三方科研检测机构_北检（北京）检测技术研究院

检测项目

真空压力测量：

绝对压力检测：测量范围10^-3Pa至10^5Pa（参照ISO3567）
相对压力校准：精度±0.15%，温度补偿范围-20℃～50℃
真空度稳定性：压力波动≤0.1Pa/min

泄漏检测：

氦质谱泄漏测试：检出限≤10^{-9}Pa·m³/s（参照ISO21360-1）
压力衰减检测：泄漏率≤0.05Pa·L/s，测试时间≥15min
气泡法泄漏验证：最大允许气泡直径≤1mm

气体组分分析：

残余气体浓度：检测限0.1ppm（参照ASTMF1375）
湿度含量检测：相对湿度≤5%RH，露点范围-80℃～20℃
氧分压测量：精度±0.01%，范围10^-6Pa至10^3Pa

真空系统性能：

抽气效率测试：抽速≥100L/s，参照ISO1608-1
极限真空度评估：压力值≤10^-7Pa，保持时间≥24h
系统响应时间：达到设定真空时间≤5min

真空泵检测：

泵油污染分析：颗粒物≤0.1μm，油温上限80℃
电机功率消耗：额定功率偏差±5%，效率≥85%
噪音水平：声压级≤65dB(A)

密封性测试：

密封件压缩率：变形量≤10%，压力负载≥50kPa
阀门泄漏率：关闭状态泄漏≤10^{-6}Pa·m³/s
法兰连接完整性：扭矩值20N·m至100N·m

温度影响评估：

热真空循环测试：温度范围-196℃～150℃，循环次数≥100
热传导测量：热导系数偏差±5%，参照ISO8301
温度稳定性：波动≤±1℃/h

真空环境模拟：

空间真空模拟：压力≤10^{-6}Pa，气体成分N₂/O₂比95/5
等离子体干扰检测：离子密度≤10^{10}cm^{-3}
真空紫外辐射：波长范围100nm～400nm，强度≥1mW/cm²

材料放气测试：

总放气量评估：放气率≤10^{-8}Pa·L/(s·cm²)
挥发性有机物检测：VOC浓度≤0.01mg/m³
表面吸附分析：吸附量≤10^{-7}mol/cm²

真空计校准：

电容膜真空计校准：精度±0.1%，参照ISO3567
电离真空计线性度：偏差≤±1%，测量范围10^{-10}Pa至10^{-1}Pa
热导计响应时间：≤1s，温度补偿范围-30℃～70℃

检测范围

1.真空密封件：橡胶和金属密封圈，重点检测压缩永久变形和泄漏率

2.真空腔体：不锈钢和铝合金容器，侧重焊缝密封性及压力耐受能力

3.真空泵系统：旋片泵和涡轮分子泵组合，检测抽气效率和极限真空度

4.真空阀门：闸阀和球阀，关注关闭泄漏率和响应时间

5.真空管道：波纹管和金属管道，重点评估连接完整性和气体渗透率

6.真空包装材料：食品级塑料薄膜，检测透气率和密封强度

7.半导体真空设备：晶圆处理腔室，侧重真空环境稳定性和颗粒污染

8.航空航天真空系统：航天器密封舱，检测热真空适应性和泄漏控制

9.医疗真空设备：手术抽吸系统，评估压力精度和生物兼容性

10.真空炉设备：热处理炉，重点检测温度均匀性和真空保持能力

检测方法

国际标准：

ISO3567:2010真空技术真空计校准方法
ISO21360-1:2019真空技术真空计测量方法第1部分：直接测量
ISO1608-1:2020真空技术真空泵性能测量第1部分：体积流率测定
ASTMF1375-92(2018)气体质谱检漏标准方法
ISO8301:1991绝热稳态热传递性能测定

国家标准：

GB/T5170.1-2016电工电子产品环境试验设备检验方法总则
GB/T16825.1-2008真空技术真空计术语
GB/T20123-2006钢铁总碳硫含量测定高频感应炉燃烧红外吸收法
GB/T13301-1991金属材料高温拉伸试验方法
GB/T18434-2001密封元件性能试验方法

方法差异说明：国际标准如ISO更注重全球一致性，采用Pa单位制；国家标准如GB结合本地需求，部分标准采用kPa单位，测量精度要求略高于ISO，例如GB/T5170.1规定温度补偿范围更窄。

检测设备

1.电容膜真空计：PFEIFFERPKR251（测量范围10^-4Pa至1100hPa，精度±0.15%）

2.氦质谱检漏仪：LEYBOLDPHOENIXL300i（灵敏度5×10^{-12}Pa·m³/s，响应时间≤2s）

3.热导真空计：INFICONBPG400（测量范围10^-1Pa至10^3Pa，精度±2%）

4.电离真空计：AGILENTUHV-24P（测量范围10^{-10}Pa至10^{-1}Pa，线性偏差≤±1%）

5.残余气体分析仪：HIDENANALYTICALHPR-60（检测限0.1ppm，质量范围1-300amu）

6.真空泵测试台：EDWARDSSTP-300（抽速范围10L/s至1000L/s，极限真空≤10^{-7}Pa）

7.压力衰减测试仪：SERVOMEXDATUM200（压力范围0-100kPa，精度±0.5%，测试时间0-60min）

8.热真空试验箱：ESPECTDS-80（温度范围-196℃～200℃，真空度≤10^{-6}Pa）

9.湿度传感器校准器：VAISALAHMK15（湿度范围0-100%RH，精度±1%RH）

10.气体流量计：BROOKSSLA5850（流量范围0.1-100L/min，精度±0.25%）

11.真空密封测试仪：HELMUTZIEGLERLTC-100（扭矩范围0-100N·m，泄露检测下限10^{-6}Pa·m³/s）

12.温度记录仪：OMEGAOM-EL-USB-TC（温度范围-200℃～1370℃，分辨率0.1℃）

13.颗粒计数器：CLIMETCI-760（粒径范围0.1-100μm，计数效率≥95%）

14.光谱分析仪：BRUKERVERTEX80V（波长范围0.3-25μm，分辨率0.5cm^{-1}）

15.真空校准系统：MKS670B（校准范围10^{-8}Pa至10^3Pa，精度

检测项目

真空压力测量：

绝对压力检测：测量范围10^-3Pa至10^5Pa（参照ISO3567）
相对压力校准：精度±0.15%，温度补偿范围-20℃～50℃
真空度稳定性：压力波动≤0.1Pa/min

泄漏检测：

氦质谱泄漏测试：检出限≤10^{-9}Pa·m³/s（参照ISO21360-1）
压力衰减检测：泄漏率≤0.05Pa·L/s，测试时间≥15min
气泡法泄漏验证：最大允许气泡直径≤1mm

气体组分分析：

残余气体浓度：检测限0.1ppm（参照ASTMF1375）
湿度含量检测：相对湿度≤5%RH，露点范围-80℃～20℃
氧分压测量：精度±0.01%，范围10^-6Pa至10^3Pa

真空系统性能：

抽气效率测试：抽速≥100L/s，参照ISO1608-1
极限真空度评估：压力值≤10^-7Pa，保持时间≥24h
系统响应时间：达到设定真空时间≤5min

真空泵检测：

泵油污染分析：颗粒物≤0.1μm，油温上限80℃
电机功率消耗：额定功率偏差±5%，效率≥85%
噪音水平：声压级≤65dB(A)

密封性测试：

密封件压缩率：变形量≤10%，压力负载≥50kPa
阀门泄漏率：关闭状态泄漏≤10^{-6}Pa·m³/s
法兰连接完整性：扭矩值20N·m至100N·m

温度影响评估：

热真空循环测试：温度范围-196℃～150℃，循环次数≥100
热传导测量：热导系数偏差±5%，参照ISO8301
温度稳定性：波动≤±1℃/h

真空环境模拟：

空间真空模拟：压力≤10^{-6}Pa，气体成分N₂/O₂比95/5
等离子体干扰检测：离子密度≤10^{10}cm^{-3}
真空紫外辐射：波长范围100nm～400nm，强度≥1mW/cm²

材料放气测试：

总放气量评估：放气率≤10^{-8}Pa·L/(s·cm²)
挥发性有机物检测：VOC浓度≤0.01mg/m³
表面吸附分析：吸附量≤10^{-7}mol/cm²

真空计校准：

电容膜真空计校准：精度±0.1%，参照ISO3567
电离真空计线性度：偏差≤±1%，测量范围10^{-10}Pa至10^{-1}Pa
热导计响应时间：≤1s，温度补偿范围-30℃～70℃

检测范围

1.真空密封件：橡胶和金属密封圈，重点检测压缩永久变形和泄漏率

2.真空腔体：不锈钢和铝合金容器，侧重焊缝密封性及压力耐受能力

3.真空泵系统：旋片泵和涡轮分子泵组合，检测抽气效率和极限真空度

4.真空阀门：闸阀和球阀，关注关闭泄漏率和响应时间

5.真空管道：波纹管和金属管道，重点评估连接完整性和气体渗透率

6.真空包装材料：食品级塑料薄膜，检测透气率和密封强度

7.半导体真空设备：晶圆处理腔室，侧重真空环境稳定性和颗粒污染

8.航空航天真空系统：航天器密封舱，检测热真空适应性和泄漏控制

9.医疗真空设备：手术抽吸系统，评估压力精度和生物兼容性

10.真空炉设备：热处理炉，重点检测温度均匀性和真空保持能力

检测方法

国际标准：

ISO3567:2010真空技术真空计校准方法
ISO21360-1:2019真空技术真空计测量方法第1部分：直接测量
ISO1608-1:2020真空技术真空泵性能测量第1部分：体积流率测定
ASTMF1375-92(2018)气体质谱检漏标准方法
ISO8301:1991绝热稳态热传递性能测定

国家标准：

GB/T5170.1-2016电工电子产品环境试验设备检验方法总则
GB/T16825.1-2008真空技术真空计术语
GB/T20123-2006钢铁总碳硫含量测定高频感应炉燃烧红外吸收法
GB/T13301-1991金属材料高温拉伸试验方法
GB/T18434-2001密封元件性能试验方法

检测设备

1.电容膜真空计：PFEIFFERPKR251（测量范围10^-4Pa至1100hPa，精度±0.15%）

2.氦质谱检漏仪：LEYBOLDPHOENIXL300i（灵敏度5×10^{-12}Pa·m³/s，响应时间≤2s）

3.热导真空计：INFICONBPG400（测量范围10^-1Pa至10^3Pa，精度±2%）

4.电离真空计：AGILENTUHV-24P（测量范围10^{-10}Pa至10^{-1}Pa，线性偏差≤±1%）

5.残余气体分析仪：HIDENANALYTICALHPR-60（检测限0.1ppm，质量范围1-300amu）

6.真空泵测试台：EDWARDSSTP-300（抽速范围10L/s至1000L/s，极限真空≤10^{-7}Pa）

7.压力衰减测试仪：SERVOMEXDATUM200（压力范围0-100kPa，精度±0.5%，测试时间0-60min）

8.热真空试验箱：ESPECTDS-80（温度范围-196℃～200℃，真空度≤10^{-6}Pa）

9.湿度传感器校准器：VAISALAHMK15（湿度范围0-100%RH，精度±1%RH）

10.气体流量计：BROOKSSLA5850（流量范围0.1-100L/min，精度±0.25%）

11.真空密封测试仪：HELMUTZIEGLERLTC-100（扭矩范围0-100N·m，泄露检测下限10^{-6}Pa·m³/s）

12.温度记录仪：OMEGAOM-EL-USB-TC（温度范围-200℃～1370℃，分辨率0.1℃）

13.颗粒计数器：CLIMETCI-760（粒径范围0.1-100μm，计数效率≥95%）

14.光谱分析仪：BRUKERVERTEX80V（波长范围0.3-25μm，分辨率0.5cm^{-1}）

15.真空校准系统：MKS670B（校准范围10^{-8}Pa至10^3Pa，精度

检测项目

真空压力测量：

绝对压力检测：测量范围10^-3Pa至10^5Pa（参照ISO3567）
相对压力校准：精度±0.15%，温度补偿范围-20℃～50℃
真空度稳定性：压力波动≤0.1Pa/min

泄漏检测：

氦质谱泄漏测试：检出限≤10^{-9}Pa·m³/s（参照ISO21360-1）
压力衰减检测：泄漏率≤0.05Pa·L/s，测试时间≥15min
气泡法泄漏验证：最大允许气泡直径≤1mm

气体组分分析：

残余气体浓度：检测限0.1ppm（参照ASTMF1375）
湿度含量检测：相对湿度≤5%RH，露点范围-80℃～20℃
氧分压测量：精度±0.01%，范围10^-6Pa至10^3Pa

真空系统性能：

抽气效率测试：抽速≥100L/s，参照ISO1608-1
极限真空度评估：压力值≤10^-7Pa，保持时间≥24h
系统响应时间：达到设定真空时间≤5min

真空泵检测：

泵油污染分析：颗粒物≤0.1μm，油温上限80℃
电机功率消耗：额定功率偏差±5%，效率≥85%
噪音水平：声压级≤65dB(A)

密封性测试：

密封件压缩率：变形量≤10%，压力负载≥50kPa
阀门泄漏率：关闭状态泄漏≤10^{-6}Pa·m³/s
法兰连接完整性：扭矩值20N·m至100N·m

温度影响评估：

热真空循环测试：温度范围-196℃～150℃，循环次数≥100
热传导测量：热导系数偏差±5%，参照ISO8301
温度稳定性：波动≤±1℃/h

真空环境模拟：

空间真空模拟：压力≤10^{-6}Pa，气体成分N₂/O₂比95/5
等离子体干扰检测：离子密度≤10^{10}cm^{-3}
真空紫外辐射：波长范围100nm～400nm，强度≥1mW/cm²

材料放气测试：

总放气量评估：放气率≤10^{-8}Pa·L/(s·cm²)
挥发性有机物检测：VOC浓度≤0.01mg/m³
表面吸附分析：吸附量≤10^{-7}mol/cm²

真空计校准：

电容膜真空计校准：精度±0.1%，参照ISO3567
电离真空计线性度：偏差≤±1%，测量范围10^{-10}Pa至10^{-1}Pa
热导计响应时间：≤1s，温度补偿范围-30℃～70℃

检测范围

1.真空密封件：橡胶和金属密封圈，重点检测压缩永久变形和泄漏率

2.真空腔体：不锈钢和铝合金容器，侧重焊缝密封性及压力耐受能力

3.真空泵系统：旋片泵和涡轮分子泵组合，检测抽气效率和极限真空度

4.真空阀门：闸阀和球阀，关注关闭泄漏率和响应时间

5.真空管道：波纹管和金属管道，重点评估连接完整性和气体渗透率

6.真空包装材料：食品级塑料薄膜，检测透气率和密封强度

7.半导体真空设备：晶圆处理腔室，侧重真空环境稳定性和颗粒污染

8.航空航天真空系统：航天器密封舱，检测热真空适应性和泄漏控制

9.医疗真空设备：手术抽吸系统，评估压力精度和生物兼容性

10.真空炉设备：热处理炉，重点检测温度均匀性和真空保持能力

检测方法

国际标准：

ISO3567:2010真空技术真空计校准方法
ISO21360-1:2019真空技术真空计测量方法第1部分：直接测量
ISO1608-1:2020真空技术真空泵性能测量第1部分：体积流率测定
ASTMF1375-92(2018)气体质谱检漏标准方法
ISO8301:1991绝热稳态热传递性能测定

国家标准：

GB/T5170.1-2016电工电子产品环境试验设备检验方法总则
GB/T16825.1-2008真空技术真空计术语
GB/T20123-2006钢铁总碳硫含量测定高频感应炉燃烧红外吸收法
GB/T13301-1991金属材料高温拉伸试验方法
GB/T18434-2001密封元件性能试验方法

检测设备

1.电容膜真空计：PFEIFFERPKR251（测量范围10^-4Pa至1100hPa，精度±0.15%）

2.氦质谱检漏仪：LEYBOLDPHOENIXL300i（灵敏度5×10^{-12}Pa·m³/s，响应时间≤2s）

3.热导真空计：INFICONBPG400（测量范围10^-1Pa至10^3Pa，精度±2%）

4.电离真空计：AGILENTUHV-24P（测量范围10^{-10}Pa至10^{-1}Pa，线性偏差≤±1%）

5.残余气体分析仪：HIDENANALYTICALHPR-60（检测限0.1ppm，质量范围1-300amu）

6.真空泵测试台：EDWARDSSTP-300（抽速范围10L/s至1000L/s，极限真空≤10^{-7}Pa）

7.压力衰减测试仪：SERVOMEXDATUM200（压力范围0-100kPa，精度±0.5%，测试时间0-60min）

8.热真空试验箱：ESPECTDS-80（温度范围-196℃～200℃，真空度≤10^{-6}Pa）

9.湿度传感器校准器：VAISALAHMK15（湿度范围0-100%RH，精度±1%RH）

10.气体流量计：BROOKSSLA5850（流量范围0.1-100L/min，精度±0.25%）

11.真空密封测试仪：HELMUTZIEGLERLTC-100（扭矩范围0-100N·m，泄露检测下限10^{-6}Pa·m³/s）

12.温度记录仪：OMEGAOM-EL-USB-TC（温度范围-200℃～1370℃，分辨率0.1℃）

13.颗粒计数器：CLIMETCI-760（粒径范围0.1-100μm，计数效率≥95%）

14.光谱分析仪：BRUKERVERTEX80V（波长范围0.3-25μm，分辨率0.5cm^{-1}）

15.真空校准系统：MKS670B（校准范围10^{-8}Pa至10^3Pa，精度

测量真空度检测

检测项目

检测范围

检测方法

检测设备

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

旗下实验室 · 资质荣誉

测量真空度检测

检测项目

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检测方法

检测设备

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测量真空度检测

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