检测项目

静态升压率测试：真空度维持1×10⁻⁴ Pa至1×10⁻² Pa区间内24小时压力变化值

氦质谱检漏：最小可检漏率≤1×10⁻¹² Pa·m³/s

密封圈压缩永久变形量：测量压缩率30%-40%条件下的变形量（±0.05mm）

热态泄漏率测试：在800-1500℃工作温度下的动态泄漏速率

气体成分分析：残余气体中H₂O含量≤5ppm，O₂含量≤2ppm

检测范围

金属焊接结构件（不锈钢/镍基合金/钛合金）

陶瓷-金属复合密封组件

波纹管动态密封系统

真空镀膜设备腔体

高温合金炉膛构件（钼/钨/石墨材质）

检测方法

ASTM E493-22《氦质谱检漏仪校准与测试方法》

ISO 1608-2:2020《真空技术-泵性能测量-第2部分：容积真空泵》

GB/T 32211-2015《真空技术 漏率测试方法》

GB 12337-2014《压力容器用爆炸焊接复合板》

ASME BPVC Section VIII Div.1《压力容器建造规则》附录26

检测设备

INFICON HLD5000氦质谱检漏仪：分辨率0.01ppm，响应时间＜3s

Agilent 5977B MSD气相色谱质谱联用仪：检测限达ppb级

Leybold MAGI520磁悬浮分子泵组：极限真空5×10⁻⁷ Pa

MKS 925型高精度真空计：量程1×10⁻⁸ Torr至1000 Torr

Thermo Scientific Heratherm高温试验箱：温度范围RT-1600℃±1℃