检测项目
泄漏率测定:阈值≤1×10-6 mbar·L/s(氦气介质)
耐压强度测试:最大工作压力1.5倍持续30分钟无形变
循环压力疲劳:0.2-10 MPa交变频率2Hz/5000次循环
温度适应性:-40℃至+150℃梯度变化下的密封稳定性
微观缺陷扫描:X射线成像分辨率≤5μm
检测范围
金属材质:不锈钢316L/钛合金Ti-6Al-4V精密毛细管
高分子材料:PTFE/PEEK医用导管(ID 0.5-5mm)
复合管路:碳纤维增强环氧树脂多层复合管
工业热交换器:铜镍合金B10/B30微通道管束
半导体设备:石英玻璃蚀刻反应腔体输气管
检测方法
ASTM E499-2021:质谱仪示踪气体法(氦气示踪)
ISO 20486:2017:压力衰减法(ΔP≤0.1%初始值/分钟)
GB/T 13979-2020:氦质谱真空罩检漏技术规程
GB/T 17773-2019:气泡法目视检漏实施规范
ASME V Article10:超声相控阵焊缝泄漏定位法
检测设备
INFICON UL1000氦质谱检漏仪:灵敏度1×10-12 mbar·L/s
MKS 925B双通道压力衰减测试系统:精度±0.005%FS
Olympus Omniscan MX2超声探伤仪:64晶片阵列/5MHz频率
YXLON FF35 CT扫描机:3D重构精度±15μm@200kV
Siemens SIMATIC S7-1500PLC自动化控制平台:集成AS-i总线协议