检测项目

空间相干性测量：横向相干长度（0.1-10 mm）、复相干度模值（0.5-1.0）

时间相干性分析：相干时间（1 fs-1 ns）、光谱半高宽（0.01-10 nm）

波前相位分布：RMS波前误差（λ/50-λ/10）、泽尼克系数（Z3-Z36）

偏振态稳定性：偏振度（90-99.9%）、斯托克斯参数（S0-S3）

光束质量因子：M²值（1.0-3.0）、束宽比（1:1-1:2）

检测范围

超快激光器输出光束（飞秒/皮秒级脉冲光源）

光纤耦合半导体激光模块（波长范围400-1600 nm）

光学镀膜元件（增透膜/高反膜/分光膜）

空间光调制器相位屏（LCOS/DMD型）

生物显微成像系统照明单元（共聚焦/荧光显微镜）

检测方法

ISO 13694:2018《激光光束功率分布测试方法》

ASTM E284-17《光学术语标准》中相干性定义条款

GB/T 16601-2017《激光光束参数测试方法》

ISO 11145:2018《激光器参数测量与测试术语》

GB/T 13739-2011《激光辐射功率稳定度测试方法》

检测设备

Zygo Verifire MST干涉仪：波长范围405-1550 nm，PV重复性λ/200

Newport SPS-500光谱分析系统：分辨率0.02 nm@632.8 nm

Hamamatsu C10910偏振分析相机：斯托克斯测量精度±0.5°

Thorlabs BEAMAGE-4M光束分析仪：M²计算符合ISO11146标准

Keysight N7788B光相干分析模块：时域分辨率10 fs@1550 nm