检测项目

1. 洁净服及纺织品类：面料微粒脱落测试、服装整体发尘量测试、接缝处发尘强度测试。

2. 包装与容器类：防静电包装袋发尘量、晶圆载盒动态发尘、塑料托盘摩擦发尘测试。

3. 生产辅助材料类：粘尘垫滚筒发尘测试、无尘纸/布擦拭发尘量、胶带解卷与粘贴发尘测试。

4. 工具与组件类：手动工具操作发尘测试、风扇过滤器单元发尘测试、机械手臂运动发尘评估。

5. 原材料类：塑料粒子摩擦发尘测试、金属材料表面处理后的微粒脱落测试。

6. 耗材类：笔类书写发尘测试、记录用纸张撕取与摩擦发尘测试。

7. 洁净室用品类：洁净椅移动与负载发尘测试、货架与推车移动发尘测试。

8. 设备部件类：轴承运转发尘测试、传送带摩擦发尘测试、密封条压缩发尘测试。

9. 组装过程模拟类：插拔动作发尘测试、螺丝紧固过程发尘测试、切割与打标发尘测试。

10. 环境综合评估类：人员模拟操作综合发尘量测试、设备单元整体发尘排放评估。

检测范围

无尘服、无尘手套、防静电鞋套、粘尘地垫、晶圆传送盒、半导体料盘、塑料包装袋、无尘擦拭布、洁净室专用纸张、手动工具、自动化机械臂、风扇过滤单元、洁净工作椅、货架与推车、密封胶条、轴承部件、传送带、笔类文具、塑料粒子原材料、金属结构件

检测设备

1. 激光尘埃粒子计数器：用于实时监测并统计特定空间内不同粒径档的悬浮微粒数量；核心为高灵敏度激光散射传感单元。

2. 滚筒式发尘测试仪：模拟材料在摩擦、翻滚等受力状态下的发尘情况；内置标准化滚筒与洁净气流循环系统。

3. 风洞式发尘测试舱：提供稳定层流洁净空气，用于测试物品在受控气流下的静态及动态发尘量。

4. 振动发尘测试台：通过模拟不同频率与幅度的机械振动，评估部件或组件在振动环境中的微粒释放特性。

5. 滤膜称重分析系统：通过采集前后滤膜重量变化，测量发尘总量；包含高精度微量天与恒温恒湿称重环境。

6. 扫描电子显微镜：用于对采集到的微粒进行形貌观察与成分分析，追溯污染源。

7. 洁净空气供应系统：为测试舱或测试环境提供符合特定洁净度等级的背景空气，确保测试本底值达标。

8. 粒子发生与校准器：用于产生标准浓度的单分散或多分散微粒，对粒子计数器等设备进行性能校准与标定。

9. 数据采集与处理系统：自动记录、存储并分析粒子计数器等设备输出的时序数据，生成测试报告与统计图表。

10. 环境监控仪表：连续监测并记录测试过程中的温度、相对湿度、压差等关键环境参数，确保测试条件的一致性。