检测项目
最小可检漏率：1×10-12 Pa·m3/s（标准氦气浓度下）
漏孔定位精度：±0.5 mm（空间分辨率）
系统响应时间：≤3 s（氦气到达至信号峰值）
背景噪声抑制能力：≤1×10-13 Pa·m3/s
重复性误差：≤±5%（同工况三次测量偏差）
检测范围
金属焊接件（不锈钢/铝合金/钛合金）
高分子密封组件（橡胶/O型圈/PTFE垫片）
真空系统（腔体/阀门/法兰连接处）
汽车零部件（电池包/空调管路/燃油箱）
航空航天部件（推进剂贮箱/舱门密封结构）
检测方法
ASTM E499/E499M-22：质谱仪示踪气体泄漏检测标准方法
ISO 20485:2017：非破坏性测试-泄漏检测-示踪气体法
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测
GB/T 34632-2017：密封元件氦泄漏检验方法
ASME BPVC Section V Article 10：承压设备氦质谱检漏规范
检测设备
氦质谱检漏仪（Leybold Phoenix L300i）：量程1×10-4-1×10-12 Pa·m3/s，集成自动校准模块
真空辅助系统（Pfeiffer HiCube 80 Eco）：极限真空5×10-8 mbar，含分子泵与机械泵组
多通道喷枪装置（Inficon HLD6000）：6路独立喷枪控制，支持程序化扫描路径
数据采集系统（Agilent 34972A）：同步记录压力/流量/温度参数，采样率1kHz
标准漏孔（Varian 936-0046）：标定值1×10-7/1×10-9/1×10-11 Pa·m3/s三档可调