检测项目

最小可检漏率：1×10-12 Pa·m3/s（标准氦气浓度下）

漏孔定位精度：±0.5 mm（空间分辨率）

系统响应时间：≤3 s（氦气到达至信号峰值）

背景噪声抑制能力：≤1×10-13 Pa·m3/s

重复性误差：≤±5%（同工况三次测量偏差）

检测范围

金属焊接件（不锈钢/铝合金/钛合金）

高分子密封组件（橡胶/O型圈/PTFE垫片）

真空系统（腔体/阀门/法兰连接处）

汽车零部件（电池包/空调管路/燃油箱）

航空航天部件（推进剂贮箱/舱门密封结构）

检测方法

ASTM E499/E499M-22：质谱仪示踪气体泄漏检测标准方法

ISO 20485:2017：非破坏性测试-泄漏检测-示踪气体法

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34632-2017：密封元件氦泄漏检验方法

ASME BPVC Section V Article 10：承压设备氦质谱检漏规范

检测设备

氦质谱检漏仪（Leybold Phoenix L300i）：量程1×10-4-1×10-12 Pa·m3/s，集成自动校准模块

真空辅助系统（Pfeiffer HiCube 80 Eco）：极限真空5×10-8 mbar，含分子泵与机械泵组

多通道喷枪装置（Inficon HLD6000）：6路独立喷枪控制，支持程序化扫描路径

数据采集系统（Agilent 34972A）：同步记录压力/流量/温度参数，采样率1kHz

标准漏孔（Varian 936-0046）：标定值1×10-7/1×10-9/1×10-11 Pa·m3/s三档可调