检测项目
体积电阻率：测量范围10-6-1016 Ω·cm
表面电阻率：测试电压100V-1000V DC
介电常数与损耗角正切：频率范围1kHz-1MHz
击穿电压强度：AC/DC模式，升压速率0.1-5kV/s
漏电流测试：精度±1μA@0-20mA量程
检测范围
金属材料：铜合金导线、铝基复合材料
高分子材料：聚乙烯绝缘层、环氧树脂封装体
电子元件：PCB基板、电容器介质膜
绝缘材料：陶瓷套管、硅橡胶垫片
半导体材料：硅晶圆、GaN外延片
检测方法
ASTM D257：绝缘材料直流电阻测试规范
IEC 60243-1：固体绝缘材料击穿电压测定法
GB/T 1409-2006：高频介质损耗测量方法
ISO 1853：导电橡胶体积电阻率测试规程
GB/T 3048.2-2007：电线电缆电性能试验总则
检测设备
Keithley 2450源表：四探针法电阻率测量，分辨率0.1nΩ·m
Agilent 4294A阻抗分析仪：40Hz-110MHz频段介电特性分析
Trek 610E高压放大器：0-20kV击穿电压测试系统