检测项目
接触电阻:测量范围0.1mΩ-10Ω,精度±0.5%
间距精度:公差±5μm(微米级阵列)
表面粗糙度:Ra≤0.8μm(光学级电极)
涂层厚度:X射线荧光法测量1-50μm镀层
几何尺寸:三维形貌偏差≤±2%标称值
检测范围
锂离子电池极片(石墨/硅碳/金属锂)
燃料电池双极板(石墨/金属/复合材料)
半导体封装金凸块阵列
医疗生物电极(Ag/AgCl涂层)
工业焊接电极(钨铜/铬锆铜合金)
检测方法
接触电阻测试:ASTM B539四探针法/GB/T 24525-2009
间距测量:ISO 1101几何公差规范/GB/T 1958-2017
表面分析:ISO 25178三维轮廓术/GB/T 3505-2009
镀层检测:ASTM B568 X射线荧光法/GB/T 16921-2005
高温稳定性:IEC 60068-2-14温度循环试验
检测设备
四探针测试仪:RTS-9型(0.01μΩ·cm分辨率)
激光共聚焦显微镜:Olympus LEXT OLS5000(120nm纵向分辨率)
X射线荧光光谱仪:Thermo Scientific ARL QUANT'X(多元素同步分析)
三维轮廓仪:Bruker Dektak XT-E(0.1Å垂直灵敏度)
高低温试验箱:ESPEC TABAI PL-3JPH(-70℃~+180℃温控)