检测项目

接触电阻:测量范围0.1mΩ-10Ω,精度±0.5%

间距精度:公差±5μm(微米级阵列)

表面粗糙度:Ra≤0.8μm(光学级电极)

涂层厚度:X射线荧光法测量1-50μm镀层

几何尺寸:三维形貌偏差≤±2%标称值

检测范围

锂离子电池极片(石墨/硅碳/金属锂)

燃料电池双极板(石墨/金属/复合材料)

半导体封装金凸块阵列

医疗生物电极(Ag/AgCl涂层)

工业焊接电极(钨铜/铬锆铜合金)

检测方法

接触电阻测试:ASTM B539四探针法/GB/T 24525-2009

间距测量:ISO 1101几何公差规范/GB/T 1958-2017

表面分析:ISO 25178三维轮廓术/GB/T 3505-2009

镀层检测:ASTM B568 X射线荧光法/GB/T 16921-2005

高温稳定性:IEC 60068-2-14温度循环试验

检测设备

四探针测试仪:RTS-9型(0.01μΩ·cm分辨率)

激光共聚焦显微镜:Olympus LEXT OLS5000(120nm纵向分辨率)

X射线荧光光谱仪:Thermo Scientific ARL QUANT'X(多元素同步分析)

三维轮廓仪:Bruker Dektak XT-E(0.1Å垂直灵敏度)

高低温试验箱:ESPEC TABAI PL-3JPH(-70℃~+180℃温控)