检测项目
进给速度精度：测量实际速度与设定值偏差（±0.5%以内）
定位重复性：评估单轴重复定位误差（≤±3μm）
负载特性测试：验证额定负载下位移波动（≤0.01mm）
振动频谱分析：采集10Hz-10kHz频段振动加速度（≤2.5m/s²）
热变形补偿能力：监测温升40℃时位置漂移量（≤5μm/℃）
检测范围
数控机床滚珠丝杠系统
工业机器人谐波减速机构
3D打印设备直线电机模组
半导体晶圆传输机械臂
液压伺服驱动系统
检测方法
ISO 230-2:2014 机床检验通则-第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定
GB/T 17421.2-2016 机床检验通则 第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度检验
ASTM E2309-05(2020) 线性位移测量系统校准标准方法
ISO 10816-1:1995 机械振动评定标准
GB/T 11348.1-2019 旋转机械转轴径向振动的测量和评定
检测设备
Renishaw XL-80激光干涉仪：分辨率0.001μm，用于动态位置误差测量
Hexagon Global Classic 07.10.07三坐标测量机：空间精度（1.9+L/300）μm
Brüel & Kjær 3050-B-060型振动分析系统：支持24通道同步采集
FLIR A655sc红外热像仪：热灵敏度30mK@30℃
Kistler 9272A多分量测力平台：量程±5kN，频响0.1-3000Hz