检测项目

泄漏率测试：阈值≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（常温25℃±3℃）

压力保持测试：真空度维持10⁻⁴ Pa持续30分钟

真空度稳定性测试：波动范围≤±5%（10⁻⁵ Pa基准）

氦气回收率测试：回收效率≥95%（充氦浓度5%）

多通道同步检测：支持8通道并行测试（分辨率0.1Hz）

检测范围

航空航天部件：发动机燃料管路/密封舱体/氧气阀门

半导体设备：晶圆传输腔室/刻蚀反应室/分子泵组

医疗器械：人工心脏瓣膜/植入式传感器/灭菌包装

能源设备：燃料电池双极板/锂电池组外壳/储氢罐

汽车零部件：EV电池冷却系统/空调压缩机/涡轮增压器

检测方法

ASTM E499-2021：示踪气体法真空箱测试规程

ISO 20486:2017：泄漏校准系统技术要求

GB/T 11813-2020：氦质谱检漏仪通用规范

GB 4208-2017：外壳防护等级（IP代码）验证试验

ISO 1608-2:2020：真空泵性能测定方法

检测设备

氦质谱检漏仪：Leybold PHOENIX L300i（检测限5×10⁻¹² mbar·L/s）

真空箱系统：VAT Varilok PR-1000（有效容积1m³/极限真空5×10⁻⁶ mbar）

分子泵组：Pfeiffer HiPace 700 H（抽速685L/s/极限真空5×10⁻⁹ mbar）

氦气回收装置：INFICON ECOTEC HLT560（处理能力60Nm³/h）

数据采集系统：NI PXIe-8880（16位ADC/同步采样率1MS/s）