检测项目
电离电流强度：10-15-10-6 A
离子迁移率：0.1-5.0 cm²/(V·s)
离子浓度：108-1014 cm-3
电荷衰减时间：1 ms-100 s
表面电势分布：±0.1-10 kV
检测范围
半导体材料：硅、锗、砷化镓晶圆
绝缘材料：陶瓷、玻璃、云母制品
高分子材料：聚乙烯、聚丙烯薄膜
生物医学材料：人工关节涂层、植入器械
环境监测设备：电离式气体传感器
检测方法
ASTM D257-14：绝缘材料直流电阻测试
ISO 1853:2018：导电橡胶体积电阻率测定
GB/T 1410-2006：固体绝缘材料体积电阻率试验
IEC 60093:1980：绝缘材料表面电阻测试
JIS K 6911:2006：热固性塑料介电强度测定
检测设备
Keithley 6517B静电计：0.01 fA分辨率电流检测
Agilent 4294A阻抗分析仪：40 Hz-110 MHz介电特性测试
Trek 347-3高压源：±10 kV表面电势扫描
Mitsubishi SM-7420电荷衰减测试系统：0.1 ms时间分辨率
ESPEC SH-641恒温恒湿箱：±0.5℃环境控制