电离速率检测

检测项目

电离电流强度：10^-15-10^-6 A

离子迁移率：0.1-5.0 cm²/(V·s)

离子浓度：10⁸-10¹⁴ cm^-3

电荷衰减时间：1 ms-100 s

表面电势分布：±0.1-10 kV

检测范围

半导体材料：硅、锗、砷化镓晶圆

绝缘材料：陶瓷、玻璃、云母制品

高分子材料：聚乙烯、聚丙烯薄膜

生物医学材料：人工关节涂层、植入器械

环境监测设备：电离式气体传感器

检测方法

ASTM D257-14：绝缘材料直流电阻测试

ISO 1853:2018：导电橡胶体积电阻率测定

GB/T 1410-2006：固体绝缘材料体积电阻率试验

IEC 60093:1980：绝缘材料表面电阻测试

JIS K 6911:2006：热固性塑料介电强度测定

检测设备

Keithley 6517B静电计：0.01 fA分辨率电流检测

Agilent 4294A阻抗分析仪：40 Hz-110 MHz介电特性测试

Trek 347-3高压源：±10 kV表面电势扫描

Mitsubishi SM-7420电荷衰减测试系统：0.1 ms时间分辨率

ESPEC SH-641恒温恒湿箱：±0.5℃环境控制