检测项目
激光功率密度范围:100-5000 W/cm²(连续/脉冲模式)
光束质量因子M²:1.0-3.0(发散角≤2 mrad)
热影响区厚度:10-500 μm(显微硬度法测量)
波长稳定性:10.6±0.1 μm(光谱分析仪校准)
脉冲频率精度:1-1000 Hz(误差≤±0.5%)
检测范围
金属材料:不锈钢、钛合金、铝合金表面改性层
聚合物材料:聚碳酸酯(PC)、聚酰胺(PA)微结构加工件
陶瓷材料:氧化铝、氮化硅精密钻孔件
光学元件:ZnSe透镜、GaAs窗口镀膜层
医疗器件:手术刀激光刻蚀面、植入物纹理加工件
检测方法
ISO 11145:2018 激光器与激光设备术语和符号
ASTM E2758-18 激光光束宽度测量标准指南
GB/T 15175-2012 激光光束质量测试方法
ISO 11551:2021 光学材料激光损伤阈值测定
GB/T 26184-2010 激光加工机械安全要求
检测设备
Coherent LaserScan LBA-712A:光束轮廓分析仪,分辨率0.1μm
Ophir FL250A-BB-50:高功率激光功率计,量程20kW
Primes FocusMonitor FM:焦点位置检测系统,精度±5μm
Keyence VK-X3000:3D激光显微镜,Z轴分辨率1nm
Spectrum Evolution HSA-XT:红外光谱仪,波长范围2-16μm