检测项目

尺寸公差：平面度≤0.002mm，圆柱度≤0.003mm

质量偏差：单位质量误差±0.005g

材料成分：合金元素含量偏差≤0.05wt%

表面粗糙度：Ra值范围0.05-0.8μm

热膨胀系数：温度梯度20-300℃时，α值偏差≤0.05×10⁻⁶/℃

检测范围

精密轴承部件（ISO 492 Class 5及以上）

半导体晶圆（直径200-300mm）

医用钛合金植入物（ASTM F136标准件）

光学镜片（面型精度λ/10@632.8nm）

航空紧固件（NASM 25027标准件）

检测方法

ASTM E29-22 标准测量方法实施指南

ISO 12154:2016 密度测定气体比重法

GB/T 10610-2018 表面粗糙度参数测量规程

ISO 17562:2021 热膨胀系数激光干涉法

GB/T 4340.1-2009 金属维氏硬度试验

检测设备

Mitutoyo CMM Crysta-Apex S 三坐标测量机：空间测量精度(1.9+L/250)μm

Mettler Toledo XPR6U 微量天平：分辨率0.1μg，最大称量6.1g

Bruker Q4 TASMAN 直读光谱仪：波长范围130-800nm，检测限0.1ppm

Taylor Hobson Form Talysurf i-Series 表面轮廓仪：垂直分辨率0.8nm

NETZSCH DIL 402 Expedis Classic 热膨胀仪：温度分辨率0.01℃，应变精度±0.05%