检测项目

极限真空度：≤1×10⁻⁴ Pa（25℃恒温环境）

抽气速率偏差：±5%（额定流量下对比标称值）

泄漏率检测：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦质谱法）

运行温度稳定性：±2℃（连续工作8小时）

振动与噪音：≤72 dB(A)（距泵体1米处测量）

检测范围

不锈钢材质泵体及密封组件

铝合金转子与轴承系统

陶瓷涂层耐腐蚀表面

高分子密封材料（PTFE、氟橡胶等）

钛合金高真空腔体

检测方法

ISO 21360-1:2012 真空泵性能测试方法

ASTM E2931-13 质谱检漏标准规程

GB/T 3163-2022 真空技术术语与测试通则

ISO 8573-8:2022 压缩空气污染物分级

GB/T 13979-2021 容积真空泵振动测量

检测设备

真空度测试仪 ZJ-52D（量程1×10⁻⁶~1000 Pa，精度±0.5%）

氦质谱检漏仪 L300i（灵敏度1×10⁻¹² Pa·m³/s）

热偶真空计 TC-2020（温度补偿范围-20~150℃）

振动分析系统 VM-6740（频率范围5~20 kHz）

声级计 AWA6228+（符合IEC 61672-1标准）