检测项目
极限真空度：≤1×10⁻⁴ Pa（25℃恒温环境）
抽气速率偏差：±5%（额定流量下对比标称值）
泄漏率检测：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦质谱法）
运行温度稳定性：±2℃（连续工作8小时）
振动与噪音：≤72 dB(A)（距泵体1米处测量）
检测范围
不锈钢材质泵体及密封组件
铝合金转子与轴承系统
陶瓷涂层耐腐蚀表面
高分子密封材料（PTFE、氟橡胶等）
钛合金高真空腔体
检测方法
ISO 21360-1:2012 真空泵性能测试方法
ASTM E2931-13 质谱检漏标准规程
GB/T 3163-2022 真空技术术语与测试通则
ISO 8573-8:2022 压缩空气污染物分级
GB/T 13979-2021 容积真空泵振动测量
检测设备
真空度测试仪 ZJ-52D（量程1×10⁻⁶~1000 Pa，精度±0.5%）
氦质谱检漏仪 L300i（灵敏度1×10⁻¹² Pa·m³/s）
热偶真空计 TC-2020（温度补偿范围-20~150℃）
振动分析系统 VM-6740（频率范围5~20 kHz）
声级计 AWA6228+（符合IEC 61672-1标准）