检测项目
场强分布均匀性：测量范围0.1-100 kV/m，允许偏差≤±5%
表面电位梯度：分辨率0.01 kV/m²，量程0-50 kV/m²
电荷密度：精度±0.1 nC/cm²（量程0.1-100 nC/cm²）
衰减时间常数：测试范围1 ms-3600 s（温度23±2℃）
介电强度：击穿电压测试（DC 0-40 kV）
检测范围
电子元件类：半导体晶圆、PCB基板、电磁屏蔽膜
绝缘材料类：聚四氟乙烯板、陶瓷绝缘子、环氧树脂复合材料
包装材料类：防静电PE袋、铝箔复合膜、导电泡沫
医疗器械类：手术台面涂层、导管材料、无菌包装膜
航空航天材料类：卫星用多层隔热组件、舱内仪表盘覆层
检测方法
ASTM D4470-18：绝缘材料表面电阻率测试（电极间距50±0.5mm）
ISO 2882:2020：医疗器械静电性能分级测试（湿度控制45±5%RH）
GB/T 12703.1-2021：纺织品静电性能评价第1部分：静电压半衰期法
IEC 61340-4-1:2015：静电放电保护能力测试（接触放电±8kV）
GB/T 1410-2006：固体绝缘材料体积电阻率试验（恒压法500V±10V）
检测设备
KEITHLEY 6517B静电计：分辨率10fA/100μV（场强测量模式）
TREK Model 152-1电荷衰减测试仪：时间分辨率10μs（符合ANSI/ESD STM11.31）
HIOKI SM7110表面电阻仪：四端子法测量（10^3-10^12Ω范围）
EMCPro EP-300场强分析系统：三维场强测绘（空间分辨率1cm³）
HAUG ESD模拟器ESS-2000X：接触/空气放电模式（±30kV可调）