检测项目

平面度误差：测量范围±50μm，分辨率0.01μm

台阶高度差：量程0.1-200mm，允许偏差±1.2μm

表面粗糙度：Ra 0.05-6.3μm，符合ISO 4287轮廓算术平均偏差

重复定位精度：XYZ轴≤±0.8μm（3σ）

温度漂移补偿：20±1℃环境下稳定性≤0.5μm/h

检测范围

金属材料：铝合金板材（厚度0.5-50mm）、不锈钢精密冲压件

复合材料：碳纤维层压板（铺层公差±0.02mm）

电子元件：PCB基板焊盘高度差（≤10μm）

光学器件：透镜曲率半径（R5-R500mm）

机械零件：轴承滚道阶梯差（H7/h6配合公差）

检测方法

ASTM E2934-17：非接触式激光扫描平面度测量规程

ISO 8512-2:2021：台阶高度差比对测量法

GB/T 10610-2009：表面粗糙度触针式仪器评定规则

GB/T 16857-2018：坐标测量机验收与复检规范

ISO/IEC 17025:2017：检测实验室能力通用要求

检测设备

Mitutoyo LSM-902V激光扫描仪：最大采样率5000点/秒，Z轴线性误差±0.3μm/m

Hexagon Optiv Performance 443影像测量系统：配备5MP双远心镜头，XYZ精度(1.5+3L/1000)μm

Taylor Hobson Form Talysurf PGI NOVUS轮廓仪：横向分辨率0.1μm，垂直量程±500μm

Keyence VHX-7000数字显微镜：20-6000倍光学变焦，3D拼接误差≤1%

CMM Werth ScopeCheck UA三坐标机：多传感器集成系统，空间精度E≤1.9+L/350 μm