检测项目

1.数值孔径（NA值）：测量范围≥0.75±0.02@546nm波长

2.透射率特性：380-1100nm波段内平均透射率≥95%

3.波前畸变：RMS值≤λ/20（λ=632.8nm）

4.抗反射膜层性能：激光损伤阈值≥5J/cm²（1064nm,10ns）

5.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（50×50μm²扫描区域）

检测范围

1.光学玻璃透镜（BK7、FusedSilica等材质）

2.半导体光刻物镜（DUV/EUV波段）

3.激光聚焦系统物镜（Nd:YAG/CO₂激光适用）

4.显微镜高倍物镜（100×油浸式）

5.红外成像物镜（3-5μm中波红外）

检测方法

1.ASTME903-20《材料光谱透射率测试标准》

2.ISO10110-5:2015《光学元件波前公差规范》

3.GB/T26331.1-2010《光学薄膜激光损伤阈值测量》

4.ISO14997:2018《光学表面缺陷检测方法》

5.GB/T13323-2009《显微镜物镜数值孔径测定》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波前畸变测量精度λ/100

2.MitutoyoSURFTESTSJ-410轮廓仪：表面粗糙度分辨率0.1nm

3.PerkinElmerLambda1050分光光度计：光谱分辨率0.05nm

4.CoherentPM-300激光损伤测试系统：能量密度校准精度±3%

5.OlympusMX63金相显微镜：500×放大倍率观察表面缺陷

6.TriopticsOptiCentric双光路定心仪：同轴度误差≤1μm

7.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：三维形貌重建精度±0.15nm

8.Newport1918-C光功率计：动态范围0.1nW-2W@400-1100nm

9.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：消光比测量精度±0.05dB

10.HamamatsuC10483成像亮度计：动态范围10^6:1@400-850nm