检测项目
1.表面粗糙度：测量Ra（算术平均偏差）0.01-10μm、Rz（最大高度）0.1-100μm
2.轮廓形状误差：直线度≤±1μm/m，圆度公差±0.5μm
3.波纹度分析：波长0.08-8mm范围内波峰波谷高度差
4.台阶高度测量：分辨率达0.1nm，量程范围±500μm
5.微观形貌三维重建：横向分辨率0.1μm，纵向分辨率0.01μm
检测范围
1.金属材料：铝合金、钛合金等精密加工件表面质量评估
2.高分子材料：注塑件成型收缩变形量检测
3.精密机械零件：轴承滚道、齿轮齿面轮廓精度验证
4.光学元件：非球面镜片面形误差测量
5.陶瓷材料：烧结体表面微裂纹深度定量分析
检测方法
ISO4287:1997《几何产品规范(GPS)表面结构:轮廓法术语、定义及表面结构参数》
ISO3274:1996《产品几何量技术规范(GPS)表面结构:轮廓法接触(触针)式仪器的标称特性》
GB/T3505-2009《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数》
ASTMD7127-13《使用触针式仪器测量涂层表面粗糙度的标准试验方法》
GB/T10610-2009《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法》
检测设备
1.TaylorHobsonFormTalysurfi系列：配备120μm半径金刚石探针，可测Ra0.01-50μm
2.MitutoyoSurftestSJ-410：最大量程800μm，最小分辨率0.01μm
3.MahrMarSurfLD260：配备多探针系统，支持ISO/GB标准滤波处理
4.ZeissSurfcomFlex：集成50mm量程传感器，可执行3D形貌重建
5.KosakaLabSurfcorderSE1700α：配备高刚性悬臂梁结构，测力范围0.75-4mN
6.Hommel-EtamicT8000：内置温度补偿系统，环境适应性达15-30℃
7.PanasonicHG-C1050：采用线性编码器定位系统，定位精度±0.1μm
8.KeyenceET-200：集成防震底座设计，适用于车间现场快速测量