检测项目

1.平面度误差：全平面测量公差≤0.02mm/m

2.表面粗糙度：Ra值控制在0.4-0.8μm范围

3.电阻率：基准值1.010^-6-5.010^-6Ωm

4.硬度指标：洛氏硬度HRC38-42（金属基材）

5.热变形量：200℃恒温下形变量≤0.05mm/2h

检测范围

1.石墨复合电极台板：含碳量≥99%的高纯材料

2.铜合金导电基板：铬锆铜(C18150)及铍铜(C17200)

3.不锈钢支撑框架：304/316L奥氏体不锈钢构件

4.陶瓷涂层表面：氧化铝(Al₂O₃)热喷涂层

5.聚合物绝缘层：PTFE或PEEK复合材料

检测方法

1.平面度检测：ISO12180-2几何公差评定规范

2.电阻测试：ASTMB193-16导电材料标准试验方法

3.硬度测定：GB/T4340.1金属维氏硬度试验规程

4.热变形分析：GB/T1634-2019塑料负荷变形温度测定

5.涂层厚度：ISO2178非磁性基体镀层测厚法

检测设备

1.MitutoyoCRYSTA-ApexS系列三坐标测量机（精度0.5μm）

2.TaylorHobsonFormTalysurfi120粗糙度轮廓仪

3.Loresta-GXMCP-T700四探针电阻测试仪

4.ZwickRoellZHU250硬度测试系统（载荷范围0.3-250kg）

5.NetzschDMA242E热机械分析仪

6.OlympusDSX1000数码金相显微镜（5000倍放大）

7.Elcometer456涂层测厚仪（分辨率0.1μm）

8.FlukeTi450红外热成像仪（热灵敏度≤0.03℃）

9.Instron5985万能材料试验机（载荷300kN）

10.KeysightB2902A精密源表（电流分辨率10fA）