光楔微器检测

检测项目

1.楔角精度：采用激光干涉法测量角度偏差值，公差范围0.5角秒

2.表面粗糙度：白光干涉仪测试Ra值≤0.5nm（有效面积≥90%）

3.折射率均匀性：双光束干涉法测定Δn≤510⁻⁶（@632.8nm）

4.透射波前畸变：Zygo干涉仪测量PV值≤λ/10（λ=632.8nm）

5.镀膜层厚度：椭偏仪测定膜厚公差1nm（多层膜系总厚度≤500nm）

检测范围

1.光学玻璃制品：H-K9L、ZF7等冕牌/火石玻璃制成的棱镜组件

2.晶体材料器件：石英晶体、氟化钙（CaF₂）等红外光学元件

3.聚合物光学件：PMMA、PC材质微结构光楔阵列

4.金属镀膜元件：铝/金反射式光楔（膜层厚度50-200nm）

5.复合光学器件：梯度折射率光楔与衍射结构集成器件

检测方法

1.ASTME903-20《材料太阳吸收率标准测试方法》用于透射率测试

2.ISO10110-5:2015《光学和光子学制图要求第5部分》表面缺陷判定

3.GB/T2831-2009《光学零件的面形偏差测试方法》波前畸变检测

4.GB/T7962.1-2010《无色光学玻璃测试方法》折射率均匀性测定

5.ISO14997:2012《光学元件表面缺陷的试验方法》划痕/麻点量化

检测设备

1.ZygoVerifireMSTPlus激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率λ/1000

2.MitutoyoSV-3100表面轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，扫描长度100mm

3.PerkinElmerLambda950分光光度计：光谱范围175-3300nm

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：20物镜，横向分辨率0.35μm

5.HoribaUVISEL2椭偏仪：入射角30-90，膜厚测量精度0.1nm

6.TriopticsOptiCentric双轴自准直仪：角度测量精度0.05角秒

7.NikonMM-400测量显微镜：500万像素CCD，重复定位精度1μm

8.Agilent5500原子力显微镜：扫描范围90μm90μm，Z轴分辨率0.01nm

9.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：12000光学放大倍率

10.SchottASAP2020折射率测试系统：测量精度210⁻⁶