检测项目

1.脉冲能量稳定性：测量单次脉冲能量波动范围（3%以内），测试样本量≥100次连续脉冲

2.脉宽精度：采用自相关仪测定半高全宽（FWHM），分辨率≤1ps

3.波长准确性：使用高分辨率光谱仪验证中心波长偏差（0.5nm）

4.光束质量因子（M）：基于ISO11146标准测量二维空间分布

5.重复频率一致性：评估1Hz-1kHz范围内频率抖动（≤0.1%）

6.发散角偏差：采用CCD阵列测定远场发散角（≤1.5mrad）

7.峰值功率密度：计算瞬时功率密度（GW/cm量级）

检测范围

1.金属材料加工用Nd:YAG激光器（波长1064nm）

2.光学薄膜损伤阈值测试用飞秒激光系统（脉宽＜500fs）

3.医疗美容设备用Q开关激光模块（能量范围50-500mJ）

4.科研用超快激光振荡器（重复频率＞80MHz）

5.半导体晶圆切割用紫外激光器（波长355nm）

6.国防领域测距用高能脉冲激光器（单脉冲能量＞1J）

检测方法

1.ISO13694:2018《激光束功率密度分布的测试方法》

2.ASTME2848-13《激光辐射时间特性测量标准》

3.GB/T15175-2012《固体激光器主要参数测试方法》

4.IEC60825-1:2014《激光产品安全等级评定》

5.GB/T31359-2015《脉冲激光能量测量方法》

6.ISO11554:2017《光学与光子学-激光器功率特性测试》

检测设备

1.CoherentLabMax-TOP激光功率/能量计（量程10μJ-10J）

2.Gentec-EOUP19K-30H-VR-D0高灵敏度探头（响应时间20ns）

3.ThorlabsSA207-12B自相关仪（脉宽测量范围10fs-50ps）

4.OphirSpiriconM2-200s光束质量分析仪（CCD分辨率19201200）

5.KeysightN9020B信号分析仪（频率范围3Hz-26.5GHz）

6.OceanInsightHR4000光谱仪（波长分辨率0.1nm）

7.Newport2936-R激光衰减器组（OD值0-8可调）

8.HamamatsuC10908-01光电二极管阵列（响应波段190-1100nm）

9.TektronixDPO7254示波器（带宽25GHz）

10.PrimesFocusMonitor光束诊断系统（M测量误差＜3%）