检测项目
1.发射电流稳定性：测试范围0.1-10mA，波动率≤0.5%
2.离子流线性度：在110⁻⁵~110⁻Pa量程内偏差≤3%FS
3.规管灵敏度校准：采用N₂等效法标定，相对误差≤2%
4.电极绝缘电阻：施加500VDC电压时阻值≥110Ω
5.零点漂移特性：8小时连续工作漂移量≤0.5%FS
检测范围
1.半导体制造用分子泵组真空腔体
2.航天器推进系统氦质谱检漏装置
3.高能物理实验粒子加速器真空管道
4.真空镀膜设备工艺腔室监测系统
5.低温超导磁体杜瓦容器密封性验证
检测方法
ASTME296-17《StandardPracticeforIonizationGaugeTesting》规定基础性能验证流程
ISO3567:2011《Vacuumgauges-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge》建立传递标准法
GB/T3163-2007《电离真空计技术条件》明确电气特性测试要求
JJG692-2010《热阴极电离真空计检定规程》规范计量校准程序
IEC60331-23:2018《Measurementofelectricalquantitiesinionizedgases》定义安全测试指标
检测设备
1.AgilentUHV-24：宽量程校准系统（110⁻⁰~110Pa），配备双通道静电计
2.INFICONBPG400：全自动规管测试台，支持四象限高压电源输出
3.LeyboldCTR90：涡轮分子泵组基准真空系统，极限真空≤510⁻⁸Pa
4.MKS670B：高精度信号发生器（分辨率0.001mA），用于发射电流调节
5.PfeifferTPG262：复合真空计组标准器组（电容薄膜规+冷阴极规）
6.Keysight34465A：6位数字万用表（基本DCV精度0.0035%）
7.Fluke5320A：多功能电气安全测试仪（绝缘电阻测试电压0-1000V）
8.VarianUHV-24：超高真空校准室（烘烤温度400℃），配备四级质谱分析模块
9.EdwardsSTP-4503：涡轮分子泵抽速测试平台（抽速范围10~2000L/s）
10.CanonANELVAMRG-1000：残余气体分析系统（质量数范围1-300amu）