检测项目

1.发射电流稳定性：测试范围0.1-10mA，波动率≤0.5%

2.离子流线性度：在110⁻⁵~110⁻Pa量程内偏差≤3%FS

3.规管灵敏度校准：采用N₂等效法标定，相对误差≤2%

4.电极绝缘电阻：施加500VDC电压时阻值≥110Ω

5.零点漂移特性：8小时连续工作漂移量≤0.5%FS

检测范围

1.半导体制造用分子泵组真空腔体

2.航天器推进系统氦质谱检漏装置

3.高能物理实验粒子加速器真空管道

4.真空镀膜设备工艺腔室监测系统

5.低温超导磁体杜瓦容器密封性验证

检测方法

ASTME296-17《StandardPracticeforIonizationGaugeTesting》规定基础性能验证流程

ISO3567:2011《Vacuumgauges-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge》建立传递标准法

GB/T3163-2007《电离真空计技术条件》明确电气特性测试要求

JJG692-2010《热阴极电离真空计检定规程》规范计量校准程序

IEC60331-23:2018《Measurementofelectricalquantitiesinionizedgases》定义安全测试指标

检测设备

1.AgilentUHV-24：宽量程校准系统（110⁻⁰~110Pa），配备双通道静电计

2.INFICONBPG400：全自动规管测试台，支持四象限高压电源输出

3.LeyboldCTR90：涡轮分子泵组基准真空系统，极限真空≤510⁻⁸Pa

4.MKS670B：高精度信号发生器（分辨率0.001mA），用于发射电流调节

5.PfeifferTPG262：复合真空计组标准器组（电容薄膜规+冷阴极规）

6.Keysight34465A：6位数字万用表（基本DCV精度0.0035%）

7.Fluke5320A：多功能电气安全测试仪（绝缘电阻测试电压0-1000V）

8.VarianUHV-24：超高真空校准室（烘烤温度400℃），配备四级质谱分析模块

9.EdwardsSTP-4503：涡轮分子泵抽速测试平台（抽速范围10~2000L/s）

10.CanonANELVAMRG-1000：残余气体分析系统（质量数范围1-300amu）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与电离真空计检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。