检测项目
1.横向压电常数d31:测量范围110⁻~510⁻⁰C/N,精度2%FS
2.横向机电耦合系数k31:测试频率1kHz~1MHz,分辨率0.001
3.介电损耗tanδ:温度范围-50℃~200℃,频率10Hz~10MHz
4.弹性柔顺系数s₁₁ᴱ:应力加载0.1~50MPa,应变分辨率0.01%
5.横向电压输出V₃₁:动态载荷0.1~100N/s,采样率1MSa/s
检测范围
1.压电陶瓷材料:PZT-5H、BaTiO₃基陶瓷片(厚度0.1~5mm)
2.高分子复合材料:PVDF薄膜(厚度10~200μm)、P(VDF-TrFE)共聚物
3.单晶材料:LiNbO₃晶片(切割方向X/Y/Z)、石英晶体
4.多层叠层器件:MEMS传感器(尺寸11~1010mm)、能量收集器
5.柔性电子材料:ZnO纳米线阵列基板、石墨烯-PDMS复合膜
检测方法
1.ASTMD2148-21:准静态法测定d31系数(载荷速率0.05N/s)
2.ISO17561:2020:激光干涉法测量横向应变响应
3.GB/T11309-2018:交流阻抗法测试介电性能(电压10Vrms)
4.IEEE176-1987:谐振反谐振法计算机电耦合系数k31
5.GB/T3389.7-2016:三电极系统测量动态压电常数(频率0.1~100Hz)
检测设备
1.Agilent4294A精密阻抗分析仪:频率范围40Hz~110MHz,支持四端对测量
2.PolytecMSA-600激光测振仪:位移分辨率0.01pm,带宽25MHz
3.Instron5943微力试验机:载荷范围0.001N~500N,位移精度0.1μm
4.KeysightB1505A功率器件分析仪:电压范围200V/40A,脉冲宽度100ns~1s
5.TREKModel609E-6高压放大器:输出电压10kVDC/AC,频率DC~100kHz
6.ZurichInstrumentsHF2LI锁相放大器:频率范围1mHz~50MHz,噪声水平5nV/√Hz
7.MitutoyoLSM-502激光位移传感器:量程5mm,线性度0.05%F.S.
8.ESPECSH-261恒温恒湿箱:温度范围-70℃~180℃,湿度10%~98%RH
9.BrukerDektakXT轮廓仪:纵向分辨率0.01,扫描长度200mm
10.NationalInstrumentsPXIe-4499动态信号采集卡:24位分辨率,同步采样率204.8kS/s/ch