检测项目

1.光束发散角偏差：测量范围0.5，分辨率0.01，依据ISO11146-1标准

2.光斑椭圆度误差：长/短轴比≤1.05:1，检测精度0.3μm

3.波长稳定性：中心波长偏移≤0.2nm（1550nm波段）

4.空间定位重复性：XYZ轴向重复精度≤1.5μm@3σ

5.能量密度分布：不均匀性≤5%（按GB/T26179-2010ClassA）

检测范围

1.非球面光学透镜（熔融石英/硫系玻璃）

2.半导体激光器模组（波长范围405-1550nm）

3.光纤准直器组件（单模/保偏光纤）

4.航天器姿态传感器（星敏感器/陀螺仪）

5.医疗内窥镜成像系统（直径Φ2-10mm）

检测方法

ASTME284-17激光束特性描述标准

ISO11146-2:2005激光束宽度与发散角测定

GB/T13740-2017激光功率密度测试规范

ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评估

GB/T26179-2010光辐射安全测量规程

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长632.8nm，PV值测量精度λ/100

2.OphirSP928积分球光谱仪：波长范围200-2500nm，动态范围70dB

3.KeyenceLJ-V7300线激光扫描仪：Z轴分辨率0.1μm，扫描速度64kHz

4.NewportMS257单色仪：光谱分辨率0.05nm@1200grating

5.ThorlabsBP209-IR光电探测器：响应时间1ns，NEP≤1pW/√Hz

6.Agilent86100B宽带示波器：带宽50GHz，采样率256GSa/s

7.MitutoyoMF-U1000显微测头：放大倍率100X，景深15mm

8.HexagonLeitzPMM-C超高精度三坐标机：空间精度(0.6+L/400)μm