检测项目

1.灵敏度测试：测量输出信号变化率（单位：mV/unit或mA/unit），偏差允许范围1.5%FS

2.线性度校准：采用最小二乘法拟合曲线，非线性误差≤0.3%

3.温度特性验证：-40℃~+125℃温箱循环测试，温漂系数＜50ppm/℃

4.长期稳定性评估：连续工作1000小时数据采集，输出波动值≤0.5%

5.抗干扰能力分析：施加200V/m电磁场干扰下信噪比＞60dB

检测范围

1.MEMS压力传感器：硅基压阻式/电容式结构件

2.光纤光栅传感器：聚酰亚胺涂覆层/金属化封装组件

3.热电偶/热电阻：K型/J型热电偶及Pt100/Pt1000元件

4.气体敏感元件：金属氧化物半导体（MOS）气敏芯片

5.光电探测器：InGaAs/Ge基光电二极管模组

检测方法

ASTME2593-23：红外测温传感器校准规范

ISO13301:2018：气味传感器阈值测定法

GB/T15478-2015：压力传感器性能试验方法

IEC60751:2022：工业铂电阻温度计技术要求

GB/T18806-2017：电阻应变式压力传感器检定规程

检测设备

Keysight34972A数据采集仪：支持32通道同步采样（分辨率24bit）

Fluke754过程校准器：电流输出精度0.01%rdg+0.005%FS

EspecPL-3K恒温恒湿箱：温度均匀度0.5℃（-70℃~+180℃）

Bruel&Kjaer2270声学分析系统：频率范围3Hz~20kHz（0.2dB）

AgilentN6705C直流电源分析仪：最小电流分辨率10nA

MTSSystems370.02液压伺服试验机：动态载荷50kN（精度0.1%）

OlympusIPLEXGX工业内窥镜：6mm探头带激光测距功能

TektronixMDO3104混合域示波器：1GHz带宽（采样率5GS/s）

HBMPMX数据放大器：共模抑制比＞120dB@50Hz

Endress+HauserCMS700化学分析仪：气体浓度检测精度1%FS