检测项目
1.电阻率测定：测量范围10-6~1014Ωcm，精度0.5%
2.介电常数分析：频率范围1kHz~1MHz，温度控制0.1℃
3.击穿电压测试：电压范围0~100kV，升压速率0.1~5kV/s
4.表面电荷密度测量：分辨率0.1nC/cm，扫描面积1010mm
5.漏电流检测：量程1pA~10mA，噪声抑制≤0.05%
检测范围
1.金属材料：铜/铝导体纯度分级（ASTMB193）
2.半导体晶圆：硅片掺杂浓度验证（SEMIMF723）
3.绝缘材料：环氧树脂耐压性能评估（GB/T1408.1）
4.电子元件：电容器介质损耗角测定（IEC60384）
5.复合材料：碳纤维增强塑料导电各向异性分析（ISO3915）
检测方法
ASTMD257-14：绝缘材料直流电阻率标准测试法
ISO1853:2018：导电橡胶体积电阻率四探针法
GB/T1410-2006：固体绝缘材料体积电阻试验规范
IEC60243-1:2013：电气强度击穿电压测定规程
JISC2139:2007：介电温谱特性测试程序
检测设备
1.Keithley6517B静电计：10aA~20mA电流测量（美国泰克）
2.Agilent4294A阻抗分析仪：40Hz~110MHz频段介电谱分析
3.HipotronicsDC-100kV高压源：直流耐压测试系统（美国HIPOTRONICS）
4.MitsubishiChemicalMCP-T610探针台：四探针电阻率测量（日本三菱）
5.TrekModel341B静电计：表面电位成像系统（美国TREK）
6.ZEISSSigma500SEM-EDS联用系统：微观形貌与成分分析（德国蔡司）
7.KeysightB1505A功率器件分析仪：功率循环可靠性测试（美国是德科技）
8.ThermoScientificNicoletiS50FTIR：分子结构表征（美国赛默飞）
9.LabthinkTSY-T1透湿仪：薄膜材料阻隔性能测试（中国兰光）
10.SuzhouJinggeHG2683耐电弧试验机：PLC控制耐电弧测试（中国苏州）